手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
橢圓偏振儀作為現(xiàn)代材料表征的重要工具，通過光與物質(zhì)的相互作用，為薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的精確測量提供了特殊的解決方案。這種非破壞性測量技術(shù)能夠解析納米級薄膜的特性，在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜和材料科學(xué)研究中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
橢圓偏振測量的核心原理基于偏振光與薄膜樣品相互作用后偏振狀態(tài)的改變。當(dāng)一束已知偏振狀態(tài)的單色光以特定角度入射到樣品表面時(shí)，會(huì)經(jīng)歷反射和折射過程。薄膜-基底系統(tǒng)的多層結(jié)構(gòu)會(huì)改變光的振幅和相位，這種改變可以通過橢偏參數(shù)Ψ和Δ來量化描述。
現(xiàn)代橢圓偏振儀采用旋轉(zhuǎn)分析器或光彈性調(diào)制器設(shè)計(jì)，能夠精確測量反射光的偏振狀態(tài)變化。儀器通常配備自動(dòng)角度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以在多個(gè)入射角度下進(jìn)行測量，提高數(shù)據(jù)可靠性。對于透明和半透明薄膜，橢偏儀可以同時(shí)測定厚度和折射率，精度分別達(dá)到0.1nm和0.001。
數(shù)據(jù)分析是橢圓偏振測量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。通過建立適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)模型，將實(shí)驗(yàn)測得的橢偏參數(shù)與理論計(jì)算值進(jìn)行擬合，可以反演出薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)?，F(xiàn)代橢偏儀配備先進(jìn)的建模軟件，能夠處理多層膜系、各向異性材料等復(fù)雜情況。對于吸收性薄膜，還可以獲得消光系數(shù)等光學(xué)常數(shù)。
橢圓偏振技術(shù)的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)展。在半導(dǎo)體工業(yè)中，用于監(jiān)測氧化層厚度和工藝質(zhì)量；在光學(xué)鍍膜領(lǐng)域，用于優(yōu)化膜系設(shè)計(jì)；在生物傳感研究中，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測分子吸附過程。隨著技術(shù)的發(fā)展，橢偏儀正朝著快速測量、寬光譜范圍和顯微成像等方向發(fā)展，為材料科學(xué)研究提供更強(qiáng)大的表征工具。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心