箱式真空氣氛爐是怎么抽真空的

箱式真空氣氛爐的抽真空過程，是確保爐內(nèi)達到所需真空度、以進行高精度材料處理或?qū)嶒灥年P(guān)鍵步驟。這一過程通常精細而復雜，涉及多個組件的協(xié)同工作。

在啟動抽真空程序后，首先，爐門緊閉，確保爐體與外部環(huán)境隔絕。隨后，內(nèi)置的真空泵開始運轉(zhuǎn)，它像一顆強大的心臟，不斷地將爐內(nèi)的空氣分子抽出。這個過程中，一個關(guān)鍵的組件——真空閥門，扮演著控制氣流的關(guān)鍵角色。它會在適當?shù)臅r機開啟，允許爐內(nèi)氣體流入真空管道，進而被真空泵排出。

為了監(jiān)測爐內(nèi)的真空狀態(tài)，通常會配備高精度的真空計。它會實時顯示爐內(nèi)的真空度，幫助操作人員了解抽真空的進度，并根據(jù)需要調(diào)整抽真空的速率或時間。

值得注意的是，抽真空過程中，爐內(nèi)的溫度和氣氛也需要被精確控制。因此，箱式真空氣氛爐往往還配備了加熱系統(tǒng)和氣氛控制系統(tǒng)，以確保在抽真空的同時，爐內(nèi)的溫度和氣氛能夠滿足特定的工藝要求。

隨著真空度的不斷提升，爐內(nèi)的氣體分子數(shù)量逐漸減少，直至達到預(yù)定的真空水平。此時，真空泵會停止工作，真空閥門關(guān)閉，整個抽真空過程宣告完成。隨后，爐內(nèi)便可以開始進行材料處理或?qū)嶒?，而無需擔心外界空氣對過程造成干擾。

• 真空泵組：這是箱式真空氣氛爐抽真空的核心設(shè)備。一般由機械泵和擴散泵或羅茨泵等組成。

• 機械泵：機械泵是初級真空泵，它的作用是先將爐內(nèi)的氣體壓力從大氣壓降低到一定程度，通?？梢赃_到 1 - 10 Pa 的范圍。機械泵通過活塞、葉片或螺桿等機械部件的運動，將氣體從泵腔中排出，從而實現(xiàn)抽氣的目的。例如，常見的旋片式機械泵，利用旋片在泵腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)，周期性地改變泵腔的容積，將氣體吸入并排出。

• 擴散泵或羅茨泵：在機械泵將爐內(nèi)壓力降低到一定程度后，需要使用擴散泵或羅茨泵等次級真空泵來進一步降低壓力。擴散泵利用高速蒸汽流將氣體分子從被抽空間輸送到泵的出口，可將壓力降至 10?? - 10?? Pa 甚至更低。羅茨泵則是通過兩個 8 字形的轉(zhuǎn)子相互嚙合旋轉(zhuǎn)，將氣體從進口推向出口，它在中低真空范圍具有較高的抽氣速率，常與機械泵配合使用，能快速將爐內(nèi)壓力降低到較低水平。

• 真空管道和閥門：真空管道用于連接真空泵組和爐體，使氣體能夠在其間流動。管道的直徑和長度會影響抽氣速度和效率，一般來說，直徑較大、長度較短的管道有利于提高抽氣速度。閥門則用于控制氣體的流動方向和通斷，例如，在真空泵組與爐體之間設(shè)置隔離閥，在抽真空時打開，使氣體能夠順利被抽出；在停止抽氣或需要充入氣氛時關(guān)閉，防止氣體回流。同時，還會設(shè)置一些微調(diào)閥，用于精確控制爐內(nèi)的壓力。

• 真空測量裝置：為了準確掌握爐內(nèi)的真空度，箱式真空氣氛爐配備有真空測量裝置，如熱偶真空計、電離真空計等。熱偶真空計是基于氣體分子對熱絲的冷卻作用與壓力有關(guān)的原理來測量真空度，適用于低真空范圍（1 - 103 Pa）。電離真空計則是通過電離氣體分子產(chǎn)生離子流，根據(jù)離子流的大小來測量真空度，可測量高真空和超高真空范圍（10?? - 10?1? Pa）。這些真空測量裝置將測量到的真空度信號轉(zhuǎn)化為電信號，通過儀表顯示出來，操作人員可以根據(jù)顯示的真空度數(shù)據(jù)來判斷抽真空的效果，并及時調(diào)整真空泵的運行狀態(tài)。

箱式真空氣氛爐的抽真空過程，就是這樣一個精細而高效的系統(tǒng)工程，它確保了爐內(nèi)環(huán)境的純凈與穩(wěn)定，為材料科學研究和工業(yè)生產(chǎn)提供了堅實的基礎(chǔ)。