用液體質量流量計測量質量及流量,采用后置汽化器將對全部液體進行汽化的方式。
直接汽化法的基本原理
汽化器直接汽化法流程圖直接汽化法使用液體質量流量計進行質量測量,并通過汽化器內置的控制閥將流量控制后的液體連續(xù)引入汽化室。在汽化室中,液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體,但瞬間汽化后的氣體質量不會改變,因此,如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器,液體主要的質量流量=汽化器出口處的氣體質量流量。
由于汽化濃度的要素由MFC直接控制,因此穩(wěn)定性,可進行高濃度汽化,這是鼓泡法難以實現(xiàn)的。
特點
無需較多溫度管理
直接對流量進行控制,精度與穩(wěn)定性
支持減壓、常壓條件下的汽化供給
支持大流量的汽化供給
搭載壓電控制閥,對應微小流量汽化需求的小型液體汽化器。
汽化室附近搭載能夠進行高速、高精度微小流量控制的壓電致動器。該結構的死體積較小。
最大支持TEOS 7g/min,H2O g/min汽化量的緊湊型汽化器。通過將載氣(最大流量14SLM)和液體混合并引入汽化室,可以實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。
小型汽化器
VU-206
特點
微小流量汽化
維護成本低
汽化室附近搭載液體流量控制閥
使用范例
真空、大氣條件下的小流量汽化
該汽化器采用緊湊型設計,結構小巧,即使在連續(xù)的微小流量下也能實現(xiàn)精確的流量汽化供給,且不受輸出端的壓力影響。
TEOS,TEB,TEPO的汽化供給

除了半導體制造工藝中經(jīng)常使用的TEOS外,還可以對TEB和TEPO等各種液體進行汽化供給。此外,還可以通過串聯(lián)汽化器同時汽化供應多種液體。
規(guī)格表
最高溫度 | 載氣流量 | 最大H2O汽化流量 | 最大TEOS汽化流量 | 密封材 |
160℃ | 0.1~14SLM | 0.5g/min | 7g/min | Au |
※產(chǎn)品詳情請直接電話或郵件咨詢LINTEC。