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用液體質量流量計測量質量及流量，采用后置汽化器將對全部液體進行汽化的方式。

直接汽化法的基本原理

直接汽化法使用液體質量流量計進行質量測量，并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將流量控制后的液體連續(xù)引入汽化室。在汽化室中，液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體，但瞬間汽化后的氣體質量不會改變，因此，如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器，液體主要的質量流量=汽化器出口處的氣體質量流量。

由于汽化濃度的要素由MFC直接控制，因此穩(wěn)定性，可進行高濃度汽化，這是鼓泡法難以實現(xiàn)的。

搭載壓電控制閥，對應微小流量汽化需求的小型液體汽化器。

汽化室附近搭載能夠進行高速、高精度微小流量控制的壓電致動器。該結構的死體積較小。

最大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的緊湊型汽化器。通過將載氣（最大流量14SLM）和液體混合并引入汽化室，可以實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。

該汽化器采用緊湊型設計，結構小巧，即使在連續(xù)的微小流量下也能實現(xiàn)精確的流量汽化供給，且不受輸出端的壓力影響。

除了半導體制造工藝中經(jīng)常使用的TEOS外，還可以對TEB和TEPO等各種液體進行汽化供給。此外，還可以通過串聯(lián)汽化器同時汽化供應多種液體。

最高溫度	載氣流量	最大H2O汽化流量	最大TEOS汽化流量	密封材
160℃	0.1~14SLM	0.5g/min	7g/min	Au

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