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LINTEC林泰克壓電控制閥小型汽化器VU-206

來源:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司   2025年04月07日 18:38  

汽化器(直接汽化法)

用液體質量流量計測量質量及流量,采用后置汽化器將對全部液體進行汽化的方式。

直接汽化法的基本原理

汽化器直接汽化法流程圖
汽化器直接汽化法流程圖

直接汽化法使用液體質量流量計進行質量測量,并通過汽化器內置的控制閥將流量控制后的液體連續(xù)引入汽化室。在汽化室中,液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體,但瞬間汽化后的氣體質量不會改變,因此,如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器,液體主要的質量流量=汽化器出口處的氣體質量流量。

由于汽化濃度的要素由MFC直接控制,因此穩(wěn)定性,可進行高濃度汽化,這是鼓泡法難以實現(xiàn)的。

特點

  • 無需較多溫度管理

  • 直接對流量進行控制,精度與穩(wěn)定性

  • 支持減壓、常壓條件下的汽化供給

  • 支持大流量的汽化供給

壓電控制閥小型汽化器VU-206

搭載壓電控制閥,對應微小流量汽化需求的小型液體汽化器。

汽化室附近搭載能夠進行高速、高精度微小流量控制的壓電致動器。該結構的死體積較小。

最大支持TEOS 7g/min,H2O g/min汽化量的緊湊型汽化器。通過將載氣(最大流量14SLM)和液體混合并引入汽化室,可以實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。

小型汽化器
VU-206

特點

  • 微小流量汽化

  • 維護成本低

  • 汽化室附近搭載液體流量控制閥

使用范例

真空、大氣條件下的小流量汽化

該汽化器采用緊湊型設計,結構小巧,即使在連續(xù)的微小流量下也能實現(xiàn)精確的流量汽化供給,且不受輸出端的壓力影響。

TEOS,TEB,TEPO的汽化供給

除了半導體制造工藝中經(jīng)常使用的TEOS外,還可以對TEB和TEPO等各種液體進行汽化供給。此外,還可以通過串聯(lián)汽化器同時汽化供應多種液體。

規(guī)格表

最高溫度載氣流量最大H2O汽化流量最大TEOS汽化流量密封材
160℃0.1~14SLM0.5g/min7g/minAu

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