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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一種利用真空環(huán)境與旋轉(zhuǎn)離心力相結(jié)合實(shí)現(xiàn)薄膜均勻涂覆的高精度設(shè)備
真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)主要應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中，用于薄膜的生成過(guò)程。它適用于各種科研和工業(yè)應(yīng)用，特別是在半導(dǎo)體工藝和納米制造中。此外，該設(shè)備還廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、微電子學(xué)、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一種利用真空環(huán)境與旋轉(zhuǎn)離心力相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)薄膜均勻涂覆的高精度設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。
真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)主要用于在實(shí)驗(yàn)室中制備均勻、薄且高質(zhì)量的薄膜。它通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力將膠液均勻地涂覆在基片上，適用于各種科研和工業(yè)應(yīng)用，特別是在半導(dǎo)體工藝和納米制造中。
真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)的基本工作原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴上各種膠液。利用離心力，膠液被均勻地涂覆在基片上。涂層的厚度取決于膠液和基片之間的粘滯系數(shù)、旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間。
通過(guò)準(zhǔn)確控制這些參數(shù)，可以獲得厚度很均勻的涂層，這對(duì)于后續(xù)的工藝步驟很關(guān)鍵。
特點(diǎn)：
真空環(huán)境
真空腔室有效避免外界雜質(zhì)干擾，確保薄膜純凈度。
適用于對(duì)氧氣、水分敏感的材料涂覆，如半導(dǎo)體器件、光學(xué)元件等。
旋轉(zhuǎn)離心力
基片高速旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速范圍通常為1000-10000rpm)，利用離心力使溶液均勻鋪展。
薄膜厚度可通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和溶液濃度準(zhǔn)確控制。
高精度與均勻性
配備精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，確保旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間的穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)高均勻度涂膜。
適用于納米級(jí)薄膜制備，滿足半導(dǎo)體、納米科技等領(lǐng)域?qū)Ρ∧べ|(zhì)量的高要求。
多功能性
可涂覆多種材料，包括金屬、陶瓷、玻璃、聚合物等。
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