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分子增壓泵是基于拖動(dòng)原理的高真空泵，同時(shí)具有優(yōu)良的中真空抽氣能力，是我國(guó)擁有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新一代真空泵，雖然姍姍來(lái)遲，但面對(duì)蓬勃發(fā)展的真空技術(shù)領(lǐng)域，正趕上了大好時(shí)機(jī)。分子增壓泵的問(wèn)世，使得廣大的真空技術(shù)用戶(hù)能再豐富多彩的泵種增加了選擇的機(jī)會(huì)。為了更好地為真空產(chǎn)業(yè)服務(wù)，特將該泵與有悠久歷史的渦輪分子泵從工作原理上做簡(jiǎn)單介紹。
一、渦輪分子泵和分子增壓泵的相同點(diǎn)和不同點(diǎn)
1、 共同點(diǎn)：
渦輪分子泵和分子增壓泵都是高真空泵，極限真空，都工作在很高的轉(zhuǎn)速下，都有很高的壓縮比，所有都可以獲得清潔真空。
2、 不同點(diǎn)：
目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的以及絕大部分國(guó)外生產(chǎn)的渦輪分子泵都是立式泵，而分子增壓泵
是臥式泵，臥式泵對(duì)共振的控制比立式難度大，分子增壓泵的工作壓力和排氣流量均比渦輪分子泵高出很多，可以達(dá)到數(shù)百帕；渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子是由渦輪葉片構(gòu)成，而分子增壓泵的轉(zhuǎn)子是由平圓盤(pán)構(gòu)成；渦輪分子泵工作在分子流狀態(tài)，而分子增壓泵可以工作在分子流和過(guò)度流狀態(tài)。
二、渦輪分子泵和分子增壓泵的工作原理
1、渦輪分子泵的工作原理
渦輪分子泵的傳輸幾率原理就是使得氣體分子沿某方向容易通過(guò)，而反反方向難以通過(guò)，這樣造成氣體分子從兩邊通過(guò)它的傳輸幾率不同，這樣氣體分子便會(huì)堆積傳輸幾率小的一方，形成壓力差。任何一種能使氣體從低壓向高壓流動(dòng)的手段都可以形成一中抽氣作用，渦輪分子泵就是依靠結(jié)構(gòu)兩邊傳輸幾率的差異來(lái)產(chǎn)生抽氣能力的。
2、分子增壓泵的工作原理
分子增壓泵的抽氣的原理是把直線運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為圓周運(yùn)動(dòng)來(lái)達(dá)到拖動(dòng)的目的，為此，分子增壓泵的抽氣級(jí)的靜輪（又稱(chēng)堵片）為空心金屬圓環(huán)上由多條弧形金屬分割成六個(gè)螺旋通道。
三、分子增壓泵的特點(diǎn)
由分子增壓泵工作機(jī)理和結(jié)構(gòu)決定了該泵具有一系列特點(diǎn)供人矚目。
1、工作壓力高。
2、分子增壓泵開(kāi)始抽氣便進(jìn)入所謂“橫流量“工作模式中真空有很高的抽氣效率。
3、節(jié)省了羅茨增壓泵。
4、分子增壓泵對(duì)前級(jí)泵的抽速要求較低。
5、很強(qiáng)的抗高壓強(qiáng)甚至大氣的沖擊能力。
6、軸承尺寸小，機(jī)械軸承的壽命超過(guò)2萬(wàn)小時(shí)。
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