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一、總體安裝注意：
1.安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否損壞。
2.打開泵高真空端法蘭蓋板，波動渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活，無異?，F(xiàn)象。
3、安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。
4、確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下做特殊防護(hù)網(wǎng)。
5、確認(rèn)已裝入潤滑油。
6、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平;油潤滑：豎直方向+/-5;潤脂油：任意角度
二、油池安裝
1、拆下注油
2、油量控制
3、油池衛(wèi)生、防顆粒。
4、對好、對稱上緊螺釘。
5、防止有漏，減少“油黑”
三、進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝
1、泵入口：對正附件、對稱擰緊
2、泵出口：防止錯位
3、冷卻水：無漏水
四、電纜安裝
1.對正槽口插入
2、用螺母擰緊，邊插邊擰
3、檢查到位
五、分子泵啟動
1、啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度
2、啟動時間
同時啟動—小系統(tǒng)，防前級泵油上返
延遲啟動—系統(tǒng)容積過大，先啟動前級泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa，啟動分子泵。
六、振動隔離、沖擊防護(hù)
1、分子泵振動極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。
2、沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐
機(jī)械振動（預(yù)抽泵、前級泵、機(jī)械動作等）
氣體振動（氣量突變、壓強(qiáng)突變）
意外振動（掉入異物，碰撞等）
七：大氣載、熱氣體、突變七載
引起問題：1、溫度過高 2、動靜片變形 3、轉(zhuǎn)子上移4、潤滑失效5、軸承失效
解決方法：1、加大水冷 2、縮短換油時間
八、泵不啟動
原因有：1、電源故障、可參照電源說明書
2、連接電纜不通，用電表查連接電纜，并檢查和使插座接觸良好。
九、長時間啟動仍達(dá)不到額定轉(zhuǎn)速或停轉(zhuǎn)
原因：1、系統(tǒng)有漏2、前級壓強(qiáng)過高3、轉(zhuǎn)向有誤4、潤滑油失效5、軸承損壞
十、大的振動和噪聲
原因和解決方法：
1、潤滑油污染或潤滑油不足
2、共振：應(yīng)改變裝配位置及連接尺寸，并使活動件固定或加減振橡膠墊
3、動平衡破壞：單獨對泵進(jìn)行試轉(zhuǎn)，振動、噪聲仍很大應(yīng)送回返修。
4、軸承損壞：檢查轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動是否靈活，有無重滯現(xiàn)象，軸承損壞應(yīng)返修，更換軸承。
十一、真空度低
1、前級漏氣2、前級泵太小3、高真空漏4、規(guī)管出氣量大5、前幾真空泵工作不正常
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