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原子力顯微鏡（AFM）拼接縫合技術(shù)（Stitching）分析大尺寸表面
Nanite原子力顯微鏡測(cè)量模式: 接觸式原子力顯微鏡，真正非接觸式原子力顯微鏡，橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM），導(dǎo)電原子力顯微鏡，磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe），掃描熱原子力顯微鏡（SThM），電容和靜電力顯微鏡（EFM），的納米光刻和納米操作能力，音叉原子力顯微鏡，三維掃描成像。
摘要
本篇應(yīng)用文章介紹了Nanosurf Nanite AFM腳本文件界面與Nanosurf報(bào)告專家分析軟件結(jié)合的全自動(dòng)拼接縫合技術(shù)特點(diǎn)。LCD面板上的AFM測(cè)量作為一個(gè)例子，演示如何拼接能夠簡(jiǎn)單的得到大尺寸表面區(qū)域的高分辨率形貌圖像。
介紹
高分辨率成像技術(shù)例如AFM常常會(huì)受制于他們的zui大掃描范圍。當(dāng)同時(shí)需要AFM高的側(cè)向分辨率和一個(gè)大掃描范圍時(shí)，圖像拼接技術(shù)是一個(gè)解決方案。圖像拼接常用于從批量制作的圖片中生成一個(gè)單一的全景圖像。在更*的操作中，這項(xiàng)技術(shù)也能被用于結(jié)合批量AFM測(cè)量生成單一大圖像。因此，大尺寸表面區(qū)域的AFM圖像，例如1 mm × 1 mm或100 μm × 100μm大小，能被簡(jiǎn)單的得到。
Nanosurf Nanite AFM系統(tǒng)能全自動(dòng)的測(cè)量和拼接所需要的圖像。用戶僅需要單個(gè)AFM圖像大小和被測(cè)量區(qū)域的大小。然后AFM會(huì)執(zhí)行好剩余的操作。測(cè)量完成后，圖像被加載到Nanosurf Report Expert后處理軟件中，然后一起被拼接成一個(gè)單一圖像。這個(gè)圖像仍然包含所有的精密測(cè)量數(shù)據(jù)，因此能像其他AFM圖像一樣具有所有的分析功能，包括高度和距離測(cè)量，粗糙度計(jì)算，顆粒和粒徑分析，橫截面分析，和3維成像功能。
圖1：LCD面板的光學(xué)顯微鏡圖像。范圍：660 μm × 660μm，使用Nanosurf easyScope 120倍放大得到。大的紅色框圍著的是一單個(gè)LCD像素。小的白色框?qū)?yīng)的是AFM掃描范圍能覆蓋的區(qū)域。掃描結(jié)果見圖2
圖2：LCD面板典型的AFM掃描區(qū)域，在有限的掃描區(qū)域得到高分辨率的形貌數(shù)據(jù)。掃描范圍74μm × 74μm，如圖1中白色框所示。
圖3：Nanosurf控制軟件中運(yùn)行的拼接腳本程序。紅框顯示了拼接對(duì)話框要求用戶提供基本參數(shù)用于拼接處理。
圖4：Nanosurf Report Expert軟件中的拼接模塊界面。簡(jiǎn)單但功能強(qiáng)大的命令允許任何人運(yùn)行拼接程序，并得到專業(yè)的結(jié)果。
圖5：一幅拼接好的AFM三維圖像。這幅圖（對(duì)應(yīng)圖4得到的拼接結(jié)果），200倍放大倍數(shù)，演示了使用Nanosurf Nanite B AFM和自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)如何輕松獲得高分辨率的三維數(shù)據(jù)。也演示了拼接結(jié)果是多么的嚴(yán)絲合縫。
圖6：一個(gè)LCD面板的AFM拼接圖像。這幅圖（560μm × 570μm；160倍放大倍率）是10 × 10幅圖像的結(jié)果，此結(jié)果是使用Nanosurf Nanite B AFM掃描記錄和拼接，并運(yùn)用了Nanosurf 控制和報(bào)告軟件的拼接功能。此結(jié)構(gòu)在尺寸上與圖1所示光學(xué)圖片相近，但提供了更多的細(xì)節(jié)和三維數(shù)據(jù)。
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