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使用便攜式原子力顯微鏡實現(xiàn)太陽能電池工業(yè)的在線粗糙度測量
便攜式原子力顯微鏡
摘要：在薄膜太陽能工業(yè)區(qū)域粗糙度參數(shù)總是需要在控制中，因為它們與電池的電效率緊密相關(guān)。在這項工作中，我們在太陽能工業(yè)典型的制造車間中測量和評價粗糙度參數(shù)。測量使用的是Nanosurf easyScan 2 便攜式原子力顯微鏡，這臺儀器放置在CNC金剛石切割設(shè)備上，設(shè)備上有一被切成四塊的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的初始樣品。通過在這個過程中得到的結(jié)果與在實驗室*條件下得到的結(jié)果比較，證明了車間在線測量的方法是可行的。區(qū)域粗糙度參數(shù)和傅里葉光譜分析的數(shù)據(jù)具有一致性，表明使用這種類型的測量工具進行在線質(zhì)量控制是可行的。這個實驗測量評價過程對樣品的TCO是無任何破壞的；這樣100%的產(chǎn)品能被測試，因此改進了測量時間和成品率。
關(guān)鍵詞：表面精密測量法；原子力顯微鏡；太陽能電池；透明導(dǎo)電氧化物膜；區(qū)域粗糙度
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