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測(cè)量顯微鏡基礎(chǔ)
測(cè)量顯微鏡，歷*是以準(zhǔn)確的倍率把工件形狀放大以后，通過與模板進(jìn)行象面比對(duì)，進(jìn)行測(cè)量、檢查的顯微鏡。為此，與通常的觀察用顯微鏡不同，它采用與輪廓投影儀相同的遠(yuǎn)心光路系統(tǒng)，其物鏡倍率也很準(zhǔn)確。
近年來，使用CCD并輔以必要的測(cè)量軟件，測(cè)量顯微鏡不僅可以對(duì)所攝取的工件視頻圖象進(jìn)行窗內(nèi)坐標(biāo)測(cè)量，依靠測(cè)量載物臺(tái)帶動(dòng)工件移動(dòng)，還可以實(shí)現(xiàn)超視窗的坐標(biāo)測(cè)量，這已經(jīng)成為它的主流用法。為了適應(yīng)這種需求，載物臺(tái)的行程需要更大，計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理功能也需要更強(qiáng)。
另外，近來隨著測(cè)量顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)制作倍率的更加準(zhǔn)確，也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡(jiǎn)易偏光觀察等功能的通用型光學(xué)頭。在高倍率觀察時(shí)，還可以使用FA（輔助對(duì)焦）鏡筒進(jìn)行高度測(cè)量，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測(cè)量的重復(fù)精度。測(cè)量顯微鏡配上數(shù)碼相機(jī)，還可以拍攝數(shù)碼相片。多種選配功能，使得測(cè)量顯微鏡的應(yīng)用越來越廣。
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