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測量顯微鏡基礎(chǔ)
測量顯微鏡，歷*是以準(zhǔn)確的倍率把工件形狀放大以后，通過與模板進(jìn)行象面比對，進(jìn)行測量、檢查的顯微鏡。為此，與通常的觀察用顯微鏡不同，它采用與輪廓投影儀相同的遠(yuǎn)心光路系統(tǒng)，其物鏡倍率也很準(zhǔn)確。
近年來，使用CCD并輔以必要的測量軟件，測量顯微鏡不僅可以對所攝取的工件視頻圖象進(jìn)行窗內(nèi)坐標(biāo)測量，依靠測量載物臺帶動工件移動，還可以實(shí)現(xiàn)超視窗的坐標(biāo)測量，這已經(jīng)成為它的主流用法。為了適應(yīng)這種需求，載物臺的行程需要更大，計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理功能也需要更強(qiáng)。
另外，近來隨著測量顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)制作倍率的更加準(zhǔn)確，也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡易偏光觀察等功能的通用型光學(xué)頭。在高倍率觀察時(shí)，還可以使用FA（輔助對焦）鏡筒進(jìn)行高度測量，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測量的重復(fù)精度。測量顯微鏡配上數(shù)碼相機(jī)，還可以拍攝數(shù)碼相片。多種選配功能，使得測量顯微鏡的應(yīng)用越來越廣。
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