溫度控制?；ㄙM因素變量：-0.0321至 0.15

　　溫度和濕度的變化能夠引起生產(chǎn)設(shè)備的誤差，從而影響生產(chǎn)過程的可重復(fù)性，終導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低、增加浪費。因此，潔凈室對溫度嚴(yán)格控制要求是顯而易見的，這項花費是必須的。

　　通常情況下，要求工程師在設(shè)計時降低施工費用，同時要求在很大區(qū)域內(nèi)對溫度進行的控制，允許的溫度變化范圍在±4到6華氏度之間(例如使用卷簾門的倉庫)。在沒有硬墻和氣閘裝置時，這將是十分苛刻的要求，并且實際上無法控制濕度的變化。人們通常認(rèn)為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項目的層疊性是非常容易達(dá)到的，并且很容易維持，但需要仔細(xì)的評估這些項目的誤差范圍。

　　如果對潔凈室內(nèi)的暖通、動力專業(yè)裝置和控制系統(tǒng)有嚴(yán)格要求，例如潔凈室的溫度控制要求為正負(fù)0.1華氏度所用花費，可能比基準(zhǔn)點為70華氏度，±2.0度(即標(biāo)準(zhǔn)要求68到72華氏度)的高出20%到50%。

　　在每個潔凈室區(qū)域內(nèi)，有局部自動調(diào)溫器來控制設(shè)計溫度。它能驅(qū)動安裝在風(fēng)管上的局部再熱或再冷盤管工作，來滿足房間內(nèi)的濕熱的要求。如果使用風(fēng)機盤管裝置，局部自動調(diào)溫器控制本區(qū)域內(nèi)盤管出口空氣的溫度。

　　7. 溫度控制?；ㄙM因素變量：-0.034至0.19

　　每個潔凈室內(nèi)的相對濕度，通過局部濕度調(diào)節(jié)器來進行控制。如果窨內(nèi)的相對濕度較高，恒濕器通過降低冷凍盤管流出空氣的溫度來加強除濕。同時，再熱盤管提供熱量來保持窨的溫度。任何一個潔凈間的相對濕度超出了設(shè)計范圍，局部恒濕器將啟動安裝在風(fēng)管上的局部濕度調(diào)節(jié)器。當(dāng)必須滿足的濕度控制時，通常利用空調(diào)箱中的新風(fēng)的絕熱增濕效果來實現(xiàn)，并通過潔凈室的結(jié)^***來維持。

　　濕度水平的局部變動可以通過超聲波濕度調(diào)節(jié)器進行控制，該調(diào)節(jié)器位于終過濾前的風(fēng)管靜壓箱內(nèi)。用水水質(zhì)為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之間。如果相對濕度低于設(shè)計范圍，恒濕器將啟動濕度調(diào)節(jié)器來增加新風(fēng)的水分含量。如果相對濕度較高，恒濕器將降低新風(fēng)控制冷凍盤管流出空氣的^***溫度，從而加強除濕效果。

　　8. 排風(fēng)系統(tǒng)?；ㄙM因素變量：-0.031至0.16

　　典型的工藝排風(fēng)系統(tǒng)包括：酸、溶劑和VOC、毒性物質(zhì)、熱和一般的房間排風(fēng)。如果廢氣中有氨氣出現(xiàn)，一些廠家會選擇使用分開的風(fēng)管系統(tǒng)和處理系統(tǒng)。使用多、普遍的酸消除方法，是水平或垂直氣體洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運用就地或當(dāng)場高溫破壞的方法。需要認(rèn)真選擇支隊的方式及必須支隊的廢氣流量。

　　的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至低，因此，在實施過程中可降低工程費用和能源浪費。保持排風(fēng)量增加的潛在需求、擴大生產(chǎn)和安裝這些備用品所需的經(jīng)濟價值之間的平衡是十分重要的。通常情況下，考慮到潔凈室將來的擴展，當(dāng)其它動力設(shè)備和暖通、動力專業(yè)系統(tǒng)(例如新風(fēng)和冷卻)不能滿足這種擴充的需求時，超大的昂貴的、不銹鋼襯里的或FRP排風(fēng)系統(tǒng)就已經(jīng)建立了。沒有考慮將來的需求而建立的酸排隊系統(tǒng)也是十分普遍的。增加風(fēng)量和新的風(fēng)管支管，，就會使風(fēng)管系統(tǒng)中的風(fēng)速超過每分鐘4000英尺。這樣的系統(tǒng)保持平衡是十分困難的或不可能的，并且運行的費用昂貴。

　　9. 振動和噪聲控制?；ㄙM因素變量：-0.027至0.10

　　設(shè)備的大小和重量影響振動的傳播及控制。潔凈室地板下面的“華夫(waffle)”混凝土板層，能夠很好地避免將設(shè)備的振動傳送到其他生產(chǎn)區(qū)域或度量衡工具上。即使為了安裝管道而在潔凈室的地面上鉆洞，Waffle混凝土板層仍能保持其風(fēng)性。因為地板的強度在于它的柵格系統(tǒng)，并可進行重新整理。因此可在地板上沖壓額外的孔洞，而不會對振動因素有任何副作用。

　　所有的暖通、動力專業(yè)設(shè)備應(yīng)使用彈簧、軟件接和隔離安裝等隔絕振動的方式，將振動效應(yīng)降到低。低噪音的節(jié)能風(fēng)機和馬達(dá)，可以用來維持潔凈室NC水平。振動和噪聲方面的專家應(yīng)是評估小組的成員，他們來用于振動和噪聲方面的專家應(yīng)是評估小組的成員，他們來核實用于振動和噪聲控制中的機械和建筑學(xué)原理。完工后的再處理可能是十分昂貴的。如果建筑師、暖通、動力專業(yè)工程師、業(yè)主和顧問從設(shè)計的開始就考慮這些因素，可以免去許多潛在的昂貴的檢測，或用更經(jīng)濟的辦法取代。

　　10. 磁通量和電磁通量。花費因素變量：0.037至0.15

　　磁通量被認(rèn)為是銀河系中海洋微粒背景的流量。銀河系的放置也被認(rèn)為是自然界的電磁循環(huán)?！巴俊边@個詞代表流量，我們可以認(rèn)為磁力線就象某種液體流動的路線那樣穿過一個假想的表面。磁場的大小代表流動的速度，它的方向就是流動的方向。磁通量就是流過這個表面的所有的容量。為了更好地理解，我們可以認(rèn)為磁通量就是穿過這個表面的磁力線的數(shù)量。