等離子體（plasma)一詞首先有朗繆爾（Langmuir)在1929年提出的。目前泛指電離的氣體。等離子體與一般的氣體不同，它不僅含有中性原子和分子，而且含有大量的電子和離子，因而是電的良導(dǎo)體。因其中正電荷，負(fù)電荷密度相等，從整體來(lái)看是電中性的，故稱(chēng)等離子體。像火焰和電弧的高溫部分及太陽(yáng)和其他恒星表面的電離層等，從廣義上來(lái)說(shuō)都是等離子體。但光譜額分析常說(shuō)的等離子體是指電離度較高的氣體，其電離度約在0.1%以上。普通的化學(xué)火焰電離度很低，一般不在稱(chēng)為等離子體。 
         等離子體按其溫度可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩大類(lèi)。當(dāng)溫度達(dá)到10⁶~10⁸K的范圍時(shí)，氣體中所有分子和原子*離解和電離，稱(chēng)為高溫等離子體。當(dāng)溫度低于10⁵K時(shí)，氣體僅部分電離，稱(chēng)為低溫等離子體。作為光譜分析光源的ICP放電所產(chǎn)生的等離子體是屬于低溫等離子體，其zui高溫度不超過(guò)10⁴K，電離度約為0.1%。
        在實(shí)際應(yīng)用中又把低溫等離子體分為熱等離子體和冷等離子體。當(dāng)氣體在大氣壓力下放電，粒子（原子和分子）密度較大，電子的自由行程較短，電子和重粒子之間頻繁碰撞，電子從電場(chǎng)獲得的動(dòng)能較快的傳遞給重粒子。這種情況下各種粒子（電子，正離子，原子和分子）的熱運(yùn)動(dòng)動(dòng)能趨于相近，整個(gè)體系接近或達(dá)到熱力學(xué)平衡狀態(tài)，氣體溫度和電子溫度比較接近和相等，這種等離子體稱(chēng)為熱等離子體。作為光譜分析光源的直流等離子體噴焰，ICP放電等都是熱等離子體，是在大氣壓力下產(chǎn)生的。應(yīng)當(dāng)指出，并不是在大氣壓力下放電的等離子體都處于熱力學(xué)平衡狀態(tài)或是局部熱力學(xué)平衡狀態(tài)。如果放電在低氣壓下進(jìn)行，電子密度較低，則電子和重粒子碰撞機(jī)會(huì)少，電子從電場(chǎng)得到的動(dòng)能不易與重粒子交換，他們之間的動(dòng)能相差較大，放電中氣體溫度遠(yuǎn)低于電子溫度。這樣的等離子體處于非熱力學(xué)平衡狀態(tài)，或者非局部熱力學(xué)平衡狀態(tài)，叫冷等離子體。作為光譜分析光源的輝光放電等和空心陰極燈光源等，都是冷等離子體。