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EDC-650Hz-23NPPB Laurell-EDC勻膠顯影機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 Laurell
  • 型號(hào) EDC-650Hz-23NPPB
  • 產(chǎn)地 美國(guó)賓夕法尼亞州
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/5/16 13:26:20
  • 訪問(wèn)次數(shù) 4751

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勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板


Laurell-EDC勻膠顯影機(jī)(英文名:Developing)

型號(hào):EDC-650Hz-23NPPB

產(chǎn)地:美國(guó)

一、產(chǎn)品概述:

Laurell-EDC勻膠顯影機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面顯影。一般勻膠顯影機(jī)由動(dòng)力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成。

二、勻膠顯影機(jī)工作原理:

顯影系統(tǒng)具有可編程閥,它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行,如沖洗(通常是去離子水或溶劑),然后干燥(通常是氮?dú)猓┖蟮奶幚聿襟E。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開(kāi)通和關(guān)閉處理過(guò)程。隔離和獨(dú)立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。勻膠顯影機(jī)還有可選擇的動(dòng)態(tài)線性或徑向滴膠的特性。

三、勻膠顯影機(jī)主要性能指標(biāo):

1、腔體尺寸:9英寸 (220 毫米);

2、Wafer&芯片:直徑6英寸(150毫米)的晶圓片或者5x5英寸(125毫米)的方片;

3、非真空托盤:聚丙烯材質(zhì)非真空托盤,可承載2、3英寸及150毫米的晶圓片-并帶有背面清洗功能;

3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm,

5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;

6、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;

7、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%;

8、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);

9、分辨率:分辨率不超過(guò)1轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性不超過(guò)1轉(zhuǎn)/分,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過(guò)的,并且無(wú)需再校準(zhǔn)!]

10、腔體開(kāi)關(guān)蓋板:透明ECTFE材質(zhì)圓頂蓋板,便于實(shí)時(shí)進(jìn)行可視化操作;

11、腔體材質(zhì)說(shuō)明:用聚丙烯材質(zhì)制成的帶有聯(lián)動(dòng)傳感觸點(diǎn)的合瓣式艙體;
12、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;

13、配套真空泵系統(tǒng):無(wú)油型 220~240伏交流,50/60赫茲;





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