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納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 14:36:39
  • 訪問(wèn)次數(shù) 3109
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納米壓印系統(tǒng)

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó),納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征、表面材料物性分析、生物藥物開(kāi)發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?,?jiàn)證中國(guó)科技水平的提升,與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)上海設(shè)立了分公司,在國(guó)內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉(cāng)庫(kù)及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國(guó)外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修。以利于更好、更快的為中國(guó)大陸服務(wù)!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國(guó)內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國(guó)家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國(guó)科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國(guó)工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)

納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)

引入了一個(gè)臺(tái)式、獨(dú)立的NanoImprint平臺(tái)。
這個(gè)平臺(tái)提供了一個(gè)帶有微型定位夾具的機(jī)械平臺(tái),用于安裝納米壓印室、紫外線固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。

它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模校準(zhǔn)器,同時(shí)為整個(gè)壓印過(guò)程提供可編程的自動(dòng)控制。


我們納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)的優(yōu)勢(shì)
•低于10納米分辨率,99%的產(chǎn)量
•支持硬模具和軟模具
•可變模具和基板尺寸提供的便利性和靈活性
•自動(dòng)釋放工藝可防止分離過(guò)程中的模具/基板損壞,并最大限度地提高每個(gè)印記的產(chǎn)量。
•自動(dòng)釋放工藝可防止分離過(guò)程中的模具/基板損壞,并最大限度地提高每個(gè)印記的產(chǎn)量。
•適用于各種應(yīng)用的多功能流程:
•光學(xué)設(shè)備、顯示器、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、生物醫(yī)學(xué)
•器件、半導(dǎo)體集成電路、化學(xué)合成和先進(jìn)材料
•帶觸摸屏用戶界面的可編程PLC允許通過(guò)定制參數(shù)進(jìn)行過(guò)程控制
•專有的紫外固化納米壓印膠對(duì)硬度或厚度沒(méi)有限制,并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容。

納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)

納米壓印技術(shù)分為三個(gè)步驟。
第一步是模板的加工。一般使用電子束刻蝕等手段,在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板。由于電子的衍射極限遠(yuǎn)小于光子,因此可以達(dá)到遠(yuǎn)高于光刻的分辨率。
第二步是圖樣的轉(zhuǎn)移。在待加工的材料表面涂上光刻膠,然后將模板壓在其表面,采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除,防止模板與材料直接接觸,損壞模板。
第三步是襯底的加工。用紫外光使光刻膠固化,移開(kāi)模板后,用刻蝕液將上一步未去除的光刻膠刻蝕掉,露出待加工材料表面,然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工,完成后去除全部光刻膠,最終得到高精度加工的材料。




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