PL600 NIL納米壓印機(jī)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) PL600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/16 21:43:31
- 訪問次數(shù) 3563
納米壓印機(jī)PL400/600紫外曝光納米紫外曝光納米光刻機(jī)NIL光刻機(jī)紫外曝光納米壓印系統(tǒng)
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|
特點(diǎn)：
? 全晶圓壓印 - PL600適用于6英寸晶圓處理, PL400適用于4英寸晶圓處理
? 低于10納米分辨率，產(chǎn)率高達(dá)99％
? 一步自動(dòng)釋放功能，可防止分離過程中模具/基材損壞，使壓印產(chǎn)量增大
? 支持各種類型的硬模和軟模
? 可變模具和基材尺寸，靈活方便
? 可編程PLC，通過自定義參數(shù)進(jìn)行過程控制，帶觸摸屏用戶界面
? 對(duì)準(zhǔn)功能選項(xiàng)
? 多種工藝，適用于各種應(yīng)用光學(xué)器件，顯示器，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，生物醫(yī)學(xué)器件，半導(dǎo)體IC，化學(xué)合成和*材料等
? 專有的紫外線固化納米壓印抗蝕劑對(duì)硬度或厚度沒有限制，并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容
PL600
基材尺寸，6“標(biāo)準(zhǔn)（尺寸較小，形狀不規(guī)則）
印記區(qū)： 與晶圓尺寸相同。
模板尺寸 6”,4” ,2” and 1”
壓印壓力: 1 psi標(biāo)準(zhǔn)
模具/基材自動(dòng)釋放: 包括 - 不需要特殊工具
紫外線曝光時(shí)間:在95％強(qiáng)度水平下2-3分鐘
對(duì)準(zhǔn)功能: x，y，z和theta（精度2um）
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