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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備>UNIXX S 20 D 顯影機

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UNIXX S 20 D 顯影機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 UNIXX S 20 D
  • 產地 德國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 13:29:21
  • 訪問次數(shù) 2143
產品標簽

濕法顯影刻蝕

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


半導體化工領域專業(yè)實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優(yōu)質專業(yè)的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產地類別 進口 應用領域 化工,電子

特點 

可處理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 ? 8" (? 200mm)圓片 

采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

真空安全聯(lián)鎖功能 

觸摸屏輸入

顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

可編程速度和加速度 

馬達轉速最大可達10000/

易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán) 

網絡接口 

USB接口 

選項 

? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

? 熱流體線,最高80°C

? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán)

? 熱板

? 熱板接近式烘烤, 手動可調接近距離 

? 可編程接近距離熱板

? 真空泵 

? 附加HMDS熱板 

性能參數(shù) 

觸摸屏程序輸入

? 程序數(shù): 100 

? 程序步數(shù): 50 

? 最長單步時間: 999

? 單步時間分辨率: 0.1

旋轉馬達

? 旋轉速度: 最高 10.000 /分鐘

? 轉速分辨率: 1/分鐘 

? 旋轉精度: ± 2 /分鐘

? 加速度: 最高 50,000 /分鐘/* *和基片重量有關

熱板 

?溫度范圍: 最高 300°C

?溫度分辨率: 0.1°C

? 溫度均勻性( 100°C ) : < ± 0.5°C 

動力需求

?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm 

設備外形(x x )

?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6”x 25.6”x 52”) 

?帶水平調節(jié) 

?不銹鋼框架



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