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UNIXX S 30 D 顯影機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) UNIXX S 30 D
  • 產(chǎn)地 德國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/5/17 13:31:43
  • 訪問(wèn)次數(shù) 3256
產(chǎn)品標(biāo)簽

濕法顯影刻蝕

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子

特點(diǎn) 

可處理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 ? 12" (? 300mm)圓片 

采用真空或微接觸夾具針對(duì)圓形和方形基板 

不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

真空安全聯(lián)鎖功能 

觸摸屏輸入顯示 啟動(dòng)、停止及真空操作按鈕 

可編程速度和加速度 馬達(dá)轉(zhuǎn)速最大可達(dá)8000轉(zhuǎn)/分鐘    

易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán) 

網(wǎng)絡(luò)接口 

USB接口 

選項(xiàng) 

? 電子流體輸送手臂--移動(dòng)速度和位置可編程 

? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

? 熱流體線,最高80°C 

? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán) 

? 熱板 

? 熱板接近式烘烤, 手動(dòng)可調(diào)接近距離 ? 可編程接近距離熱板

? 真空泵 

? 附加HMDS熱板 

性能參數(shù) 

觸摸屏程序輸入 

? 程序數(shù): 100 

? 程序步數(shù): 50 

? 最長(zhǎng)單步時(shí)間: 999

? 單步時(shí)間分辨率: 0.1秒 

旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 

? 旋轉(zhuǎn)速度: 最高 8.000 轉(zhuǎn)/分鐘

? 轉(zhuǎn)速分辨率: 1轉(zhuǎn)/分鐘 

? 旋轉(zhuǎn)精度: ± 2 轉(zhuǎn)/分鐘 

? 加速度: 最高 50,000 轉(zhuǎn)/分鐘/* *和基片重量有關(guān) 

熱板 

?溫度范圍: 最高 300°C

?溫度分辨率: 0.1°C 

? 溫度均勻性( 100°C 時(shí)) : < ± 0.5°C 動(dòng)力需求 

?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

? N氮?dú)?(選項(xiàng)): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm

設(shè)備外形(x x )

?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6”x 25.6”x 52”) 

?帶水平調(diào)節(jié) 

?不銹鋼框架



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