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UVO系列 紫外臭氧清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

CIF紫外臭氧清洗機清洗機

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品簡介

紫外臭氧清洗機UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。

CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫,以便達到最佳清洗效果。

二、產(chǎn)品特點

1. UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計時時間及加熱溫度。

2. 自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

3. 數(shù)字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。

4. 任何時間可以手動中斷處理過程。

5. 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

6. 樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-220℃,控溫精度0.1℃。

7. 頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式,操作簡單方便。

8. 上置式樣品臺設(shè)計,360度自由放置樣品,操作方便。

9. 樣品臺高度可調(diào),通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。

10. UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。

11. 高強度UV燈源,波長185nm和254nm。

12. 可累計計時UV格柵燈使用時長,更換提示。

13. UV反射罩(長X寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

14. 雙重安全保護,帶有安全鎖,當清洗腔打開時,系統(tǒng)自動關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。

15. 帶進&出氣口雙氣路設(shè)計。

16. 可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。

17. UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。

18. 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

三、 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

UV燈尺寸cm

樣品臺高度cm

主機重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO5/UVO5P/UVO5T

13x13

5cm內(nèi)可調(diào)

6

31x26x20

UVO9/UVO9P/UVO9T

23x23

5cm內(nèi)可調(diào)

12.5

60x50x20

UVO13/UVO13P/UVO13T

33x33

5cm內(nèi)可調(diào)

18.5

70x60x20

注:UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能,樣品臺高度可調(diào);UVOP可選配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調(diào);UVOT標配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調(diào)。





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