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P7 探針式輪廓儀(臺(tái)階儀)

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深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司自成立以來,一直秉承誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)的理念,充分考慮客戶的技術(shù)需求及資金預(yù)算,為廣大客戶推薦合適的產(chǎn)品及服務(wù)。

 

我們自研及代理的國(guó)內(nèi)外多種儀器設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料、電子、新能源、建筑、環(huán)保及化工等領(lǐng)域,用戶涵蓋各類高校、研究所、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室和質(zhì)檢部門等。在樣品制備、分析測(cè)試、材料及器件的性能表征等方面,深受用戶認(rèn)可。

 

我們將一如既往,努力為客戶提供完善的實(shí)驗(yàn)室一站式服務(wù)。

臺(tái)階儀,光學(xué)輪廓儀,電化學(xué)工作站,納米壓痕儀,力電聯(lián)測(cè)材料試驗(yàn)機(jī),介電溫譜測(cè)量系統(tǒng),電阻測(cè)試儀,原子力顯微鏡,光學(xué)顯微鏡

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 50萬(wàn)-100萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

探針式輪廓儀(臺(tái)階儀)KLA Tencor P7 /P17是UltraLite 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了好的測(cè)量穩(wěn)定性。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī),可快速輕松地設(shè)置程式。支持2D或3D測(cè)量,可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測(cè)量表面形貌。通過圖形識(shí)別、序列和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。


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探針式輪廓儀(臺(tái)階儀)技術(shù)特點(diǎn)

高精度2D/3D 表面形貌掃描

超大范圍的單次掃描量程,無需圖像拼接

納米至1000微米臺(tái)階高度測(cè)量

粗糙度和波紋度測(cè)量

樣品翹曲和曲率半徑測(cè)量

2D/3D薄膜應(yīng)力測(cè)量

表面缺陷檢測(cè)


探針掃描

掃描載臺(tái)具有單程150 mm的精確掃描范圍以及大1 mm的掃描高度范圍,從而保證高質(zhì)量的2D和3D掃描數(shù)據(jù)。


3D成像

通過3D掃描可以得到表面的三維成像,呈現(xiàn)出彩色三維圖像或自上而下的等高線圖像??梢詮闹刑崛〗孛?線中的三維或二維數(shù)據(jù)。


應(yīng)力分析

能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測(cè)量樣品翹曲,然后通過應(yīng)用Stoney方程來計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)150mm的樣品上通過單次掃描測(cè)量,無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測(cè)量采用多個(gè)2D掃描,并結(jié)合θ平臺(tái)在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對(duì)整個(gè)樣品表面進(jìn)行測(cè)量。


Apex軟件

Apex分析軟件通過提供調(diào)平、濾鏡、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件,增強(qiáng)了P-7的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計(jì)算方法以及如ASME之類的本地標(biāo)準(zhǔn)。 Apex還可用作報(bào)告編寫平臺(tái),具有添加文本、注釋和是/否合格的準(zhǔn)則。 Apex提供八種語(yǔ)言的版本。


型號(hào)

P7

P17

臺(tái)階高度

5nm~1000μm

分辨率(X/Y/Z)

0.025 µm /0.5μm /0.01 Å

重復(fù)性

4 Å(1μm臺(tái)階)

載力范圍

0.03mg~50mg

視頻

5MP高分辨彩色相機(jī)

觀察位置

頂視或側(cè)視

弧形校正

消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

單次掃描

150mm

200mm

樣品臺(tái)

150mm

200mm

自動(dòng)化測(cè)量

圖案識(shí)別、1000個(gè)量測(cè)序列點(diǎn)和序列隊(duì)列功能








 

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