Laurell WS-650 勻膠旋涂?jī)x

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào) Laurell WS-650
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2024/8/7 16:26:06
訪問次數(shù) 726

產(chǎn)品標(biāo)簽

勻膠旋涂?jī)x 旋涂?jī)x 勻膠機(jī)勻膠旋涂系統(tǒng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司自成立以來，一直秉承誠信經(jīng)營的理念，充分考慮客戶的技術(shù)需求及資金預(yù)算，為廣大客戶推薦合適的產(chǎn)品及服務(wù)。

我們自研及代理的國內(nèi)外多種儀器設(shè)備，已廣泛應(yīng)用于材料、電子、新能源、建筑、環(huán)保及化工等領(lǐng)域，用戶涵蓋各類高校、研究所、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室和質(zhì)檢部門等。在樣品制備、分析測(cè)試、材料及器件的性能表征等方面，深受用戶認(rèn)可。

我們將一如既往，努力為客戶提供完善的實(shí)驗(yàn)室一站式服務(wù)。

展開

臺(tái)階儀，光學(xué)輪廓儀，電化學(xué)工作站，納米壓痕儀，力電聯(lián)測(cè)材料試驗(yàn)機(jī)，介電溫譜測(cè)量系統(tǒng)，電阻測(cè)試儀，原子力顯微鏡，光學(xué)顯微鏡

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

勻膠旋涂?jī)xWS-650在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會(huì)影響成膜厚度，旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性對(duì)成膜質(zhì)量也有較大影響。

樣品尺寸：φ3~300mm

加速度：80000rpm/s（空載），30000rpm/s（負(fù)載：100mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓）

轉(zhuǎn)速：1~12000rpm，伺服電機(jī)分辨率4000P/rev

旋轉(zhuǎn)方向：選配Hz型馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)

CDA/N2氣流保護(hù)技術(shù)

可選自動(dòng)滴膠模塊，EBR晶圓去邊模塊

多種托盤可選，適用各種材質(zhì)的樣品

勻膠旋涂?jī)x托盤解決方案

常用真空托盤：10~150mm無需更換。

嵌入式：托盤中部做成圓形凹槽，樣品可嵌入其中，以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應(yīng)。

蜂窩式：適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料。

卡式托盤：適用于無法真空吸附的樣品，或者兩面都需要處理的樣品，因?yàn)楣潭〞r(shí)需要盡量減小與托盤的接觸面積，也可以使用卡式托盤，卡式托盤使用時(shí)轉(zhuǎn)速不宜過高。