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SL-1023 化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 文體,綜合

一、產(chǎn)品概述:

SL-1023化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于 CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。

二、設(shè)備特點(diǎn)

·超平不銹鋼拋光盤(平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。

·超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于 0.01mm)。 ·設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。

·配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。 ·配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整, 自動(dòng)研磨和拋光。

·配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,溫度 25℃±15℃ , 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來(lái)水及下排水

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:無(wú)

4、工作臺(tái):尺寸 800mm×600mm×700mm,承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置:不需要

主要參數(shù)

主機(jī)部分

GPC-100A 精密磨拋控制儀

自動(dòng)滴料器

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4、磨拋工位:2 個(gè)

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15 檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤: φ300mm

8、載樣盤 : φ 105mm

9、修盤環(huán) : φ 127.5mm

 

1、載樣盤直徑:?103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3、數(shù)顯表精度:0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg

5、壓力確認(rèn)儀有效量程: 1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7、承載樣件尺寸:

直徑≤103mm、厚度≤12mm

8、尺寸:外徑 146mm,高 266mm

 

SKZD-2 滾筒滴料器

1、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg

SKZD-4 自動(dòng)滴料器

1、加液泵:4 個(gè)

2、料液瓶:600ml/瓶

3、計(jì)時(shí)范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg

 

產(chǎn)品規(guī)格:

·尺寸:550mm×700mm×420mm ·重量:74Kg

 




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