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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)>Nikon NSR 2205i12D 步進(jìn)式光刻機(jī)

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Nikon NSR 2205i12D 步進(jìn)式光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品概述:

Nikon NSR 2205i12D 步進(jìn)式光刻機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體制造設(shè)備,專為 200mm 晶圓的生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。該機(jī)型采用先進(jìn)的步進(jìn)光刻技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉(zhuǎn)移,廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)、微處理器和存儲(chǔ)器等電子元件的制造。憑借其良好的成像質(zhì)量和快速的曝光速度,Nikon NSR 2205i12D 非常適合大批量生產(chǎn),同時(shí)其用戶友好的操作界面和高效的自動(dòng)化功能提升了生產(chǎn)效率。這使得 Nikon NSR 2205i12D 成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程中的重要工具,滿足行業(yè)對高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設(shè)備用途/原理:

該設(shè)備通過高強(qiáng)度光源將掩模上的圖案逐步投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長的光線,經(jīng)過高分辨率光學(xué)系統(tǒng),精確地將掩模圖案投影到晶圓上進(jìn)行曝光。曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,隨后進(jìn)行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠,從而形成所需的圖案。接著,利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟,Nikon NSR 2205i12D 能夠高效地實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

分辨率

0.4µm

N.A.

0.63

曝光光源

365nm

倍率

5:1

大曝光現(xiàn)場

22mm*22mm

對準(zhǔn)精度

LSA:60nm
FIA:70nm

四、設(shè)備特點(diǎn)

Nikon NSR 2205i12D步進(jìn)式光刻機(jī)

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.4µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等




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