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Nikon SF120/130 步進式光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品概述:

Nikon SF120/130 步進式光刻機是一款高精度的半導(dǎo)體制造設(shè)備,專為 200mm 晶圓的生產(chǎn)而設(shè)計。該機型采用先進的步進光刻技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉(zhuǎn)移,廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)、微處理器和存儲器等電子元件的制造。憑借其良好的成像質(zhì)量和快速的曝光速度,NSR 2205i14E 非常適合大批量生產(chǎn),同時其用戶友好的操作界面和高效的自動化功能提升了生產(chǎn)效率。這使得 Nikon NSR 2205i14E 成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程中的重要工具,滿足行業(yè)對高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設(shè)備用途/原理:

該設(shè)備利用高強度光源將掩模上的圖案逐步投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長的光線,通過高分辨率光學(xué)系統(tǒng),將掩模圖案精確地投影到晶圓上進行曝光。曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,接著進行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠,形成所需的圖案。隨后,利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟,Nikon SF120/130 能夠高效地實現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標準要求。

三、主要技術(shù)指標:

分辨率

0.28µm

N.A.

0.62

曝光光源

365nm

倍率

4:1

大曝光現(xiàn)場

25mm*33mm

對準精度

LSA40nm

FIA45nm

四、設(shè)備特點

Nikon SF120/130步進式光刻機

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.28µm

主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED




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