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Nikon S308F 掃描式光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 Nikon/日本尼康
  • 型號(hào) Nikon S308F
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/9/4 14:14:45
  • 訪問(wèn)次數(shù) 793

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品概述:

Nikon S308F 掃描式光刻機(jī)是一款高性能的設(shè)備,專為先進(jìn)半導(dǎo)體制造而設(shè)計(jì),適用于 300mm 晶圓的生產(chǎn)。該機(jī)型采用了先進(jìn)的掃描技術(shù)和高分辨率光學(xué)系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)的圖案轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代集成電路和微機(jī)電系統(tǒng)的制造需求。其快速的曝光速度和高生產(chǎn)效率使其適合大批量生產(chǎn),同時(shí)用戶友好的操作界面和自動(dòng)化功能也降低了操作難度。憑借其穩(wěn)定性和可靠性,Nikon S308F 在復(fù)雜的制造環(huán)境中表現(xiàn)出色,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。

二、設(shè)備用途/原理:

該設(shè)備以其高分辨率和高效的曝光能力,確保了在先進(jìn)制造領(lǐng)域的應(yīng)用。該設(shè)備利用高強(qiáng)度光源將掩模上的圖案投影到涂有光刻膠的晶圓表面。首先,光源發(fā)出特定波長(zhǎng)的光線,通過(guò)高分辨率的光學(xué)系統(tǒng),掃描掩模并將其圖案精確投影到晶圓上。曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,接著進(jìn)行顯影過(guò)程,去除未曝光或已曝光的光刻膠,形成所需圖案。隨后,利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。通過(guò)這種方式,Nikon S308F 能夠高效地實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的需求。

三、主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率

0.07µm

N.A.

0.92

曝光光源

193nm

倍率

4:1

大曝光現(xiàn)場(chǎng)

26mm*33mm

對(duì)準(zhǔn)精度

12nm

四、設(shè)備特點(diǎn)

Nikon S308F掃描式光刻機(jī)

光源波長(zhǎng)193nm

分辨率優(yōu)于0.07µm

主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等域






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