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Canon FPA3000 EX4 步進(jìn)式光刻機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品概述:

Canon FPA3000 EX4 是一款高性能的步進(jìn)式光刻機(jī),專為半導(dǎo)體制造業(yè)設(shè)計,適用于生產(chǎn)高精度的集成電路。該設(shè)備以其良好的成像能力和高生產(chǎn)效率而聞名。

二、設(shè)備用途/原理:

Canon FPA3000 EX4 步進(jìn)式光刻機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造、微機(jī)電系統(tǒng)和光電器件的生產(chǎn)。其工作原理包括使用高強(qiáng)度光源照射涂有光刻膠的硅晶圓,通過光學(xué)系統(tǒng)將掩模上的圖案投影到晶圓表面,形成圖案后進(jìn)行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠。隨后,圖案被轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,通過刻蝕工藝完成最終圖形的制作,最后去除殘留光刻膠。該設(shè)備以其高分辨率和高效的曝光能力,確保了在優(yōu)良制造領(lǐng)域的應(yīng)用。

三、特色參數(shù):

分辨率

0.25µm

N.A.

0.4~0.6

曝光光源

248nm

倍率

5:1

大曝光現(xiàn)場

22mm*22 mm

對準(zhǔn)精度

60nm

四、設(shè)備特點

1.高分辨率成像

支持高達(dá) 300mm 的晶圓尺寸,能夠?qū)崿F(xiàn)精確的圖案轉(zhuǎn)移,滿足優(yōu)良半導(dǎo)體制程的需求。

2.快速掃描速度

采用高效的掃描技術(shù),顯著縮短生產(chǎn)周期,提高生產(chǎn)效率,適合大批量制造。

3.優(yōu)良的光學(xué)系統(tǒng)

配備高性能光學(xué)元件,確保在復(fù)雜圖形上的成像質(zhì)量和清晰度。

4.用戶友好的操作界面

設(shè)計簡潔、直觀,結(jié)合自動化功能,降低操作難度,提升用戶體驗。

5.高可靠性與穩(wěn)定性

設(shè)備經(jīng)過精心設(shè)計,適合長時間連續(xù)運行,降低維護(hù)需求和成本。

6.靈活的應(yīng)用能力

能夠適應(yīng)多種制造需求,包括集成電路、MEMS 和光電器件等。

7.環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)

設(shè)計考慮到不同的生產(chǎn)環(huán)境,確保在各種條件下均能穩(wěn)定運行。






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