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HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng),半導(dǎo)體客戶端機(jī)臺裝機(jī)量大。

2. 設(shè)備用途/原理

HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng),半導(dǎo)體客戶端機(jī)臺裝機(jī)量大。可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機(jī)臺安全性能高:設(shè)備及所使用的元件符合國標(biāo)和國際標(biāo)準(zhǔn)。可提供先進(jìn)成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 4、6、8 英寸,適用材料  硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝  磷擴(kuò)散、硼擴(kuò)散、氧化、退火、合金。適用域  科研、化合物半導(dǎo)體。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

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退火爐


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