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RIE-400iPB 深硅刻蝕設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

深硅刻蝕設(shè)備RIE-400iPBSAMCO

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

RIE-400iPB是一款電感耦合等離子體放電設(shè)備,用于博世MEMS和電子元件工藝中的高速硅深孔加工。RIE-800iPB是為研究和開發(fā)目的而改裝的。該系統(tǒng)由Robert Bosch GmbH(德國)授權(quán),能夠?qū)EMS和TSV所需的硅進行高速和高各向異性蝕刻。

2. 設(shè)備用途/原理

MEMS的制造(加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、執(zhí)行器等),μTAS等醫(yī)療設(shè)備的加工

3. 設(shè)備特點

可以實現(xiàn)高速硅深孔加工,它具有的等離子體源和反應(yīng)器結(jié)構(gòu),支持博世工藝,可實現(xiàn)硅的快速深鉆。保持速度,減少扇形通過高速切換氣體,可以在保持蝕刻速度的同時減少扇形??梢赃M行SiO?的蝕刻,可以通過更換用ICP線圈來處理SiO?。



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