RIE-10NR RIE等離子刻蝕設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 SAMCO
- 型號 RIE-10NR
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/6 14:55:21
- 訪問次數(shù) 366
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能的全自動反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)，它能滿足非腐蝕性氣體化學(xué)苛刻的工藝要求。計算機(jī)化的觸摸屏為參數(shù)控制和存儲提供了一個用戶友好的界面。該系統(tǒng)可實現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制和材料間的高蝕刻選擇性。RIE-10NR具有時尚、緊湊的設(shè)計，需要小的潔凈室空間。
2. 設(shè)備用途/原理
Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Mo、Pt、Polyimide等各種材料的蝕刻。故障分析中的選擇性層蝕刻。光阻劑的灰化、剝離和除塵。表面改性（潤濕性和附著力的改善）。
3. 設(shè)備特點
大加工范圍：?220 mm (?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1)。高選擇性各向異性蝕刻滿足苛刻的工藝要求。全自動 "一鍵式 "操作，可手動操作。計算機(jī)觸摸屏為參數(shù)控制和存儲提供了一個用戶友好的界面。自動壓力控制，可精確控制工藝壓力，不受氣體流量影響。干式泵和系統(tǒng)布局便于維護(hù)?？煽亢湍陀玫南到y(tǒng)，全球安裝了400多個系統(tǒng)。
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