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SMD系列 濺射鍍膜設(shè)備(立式)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

1 產(chǎn)品概述:

      立式濺射鍍膜設(shè)備,如TS-CJX/M系列,是一種廣泛應(yīng)用于制備各類光學(xué)膜和裝飾膜的先進(jìn)設(shè)備。該設(shè)備采用磁控濺射技術(shù),通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子或分子被濺射出來并沉積在基材表面,形成所需的薄膜層。立式結(jié)構(gòu)設(shè)計使得設(shè)備在處理大面積基片時具有更高的效率和穩(wěn)定性。

2 設(shè)備用途:

濺射鍍膜設(shè)備(立式)的用途廣泛,主要包括以下幾個方面:

  1. 光學(xué)領(lǐng)域:用于制備眼鏡、光學(xué)鏡片、攝影鏡頭等光學(xué)設(shè)備的鍍膜,增加其防反射、增透、反射率等光學(xué)性能。

  2. 電子領(lǐng)域:在半導(dǎo)體器件、集成電路、顯示器件、太陽能電池板等電子元件的制造中,用于增加導(dǎo)電性、隔熱性、防蝕性等功能。

  3. 汽車工業(yè):用于汽車鏡片、燈具、車身涂層等零部件的制造,提高表面硬度、耐蝕性、抗劃傷性等性能。

  4. 醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療器械的金屬鍍膜中采用濺射鍍膜技術(shù),以提高耐腐蝕性、生物相容性,并增加設(shè)備的功能性。

3 設(shè)備特點(diǎn)

濺射鍍膜設(shè)備(立式)具有以下顯著特點(diǎn):

  1. 高效沉積:濺射鍍膜技術(shù)以其高沉積速率著稱,能夠在較短時間內(nèi)形成均勻且高質(zhì)量的薄膜。磁控濺射通過施加磁場進(jìn)一步增加等離子體密度,提高濺射速率和沉積效率。

  2. 低溫操作:濺射鍍膜過程中的低溫環(huán)境能夠有效避免基片材料因高溫而發(fā)生降解或形變,保證薄膜和基片的整體性能。這對于溫度敏感材料的鍍膜尤為重要。

  3. 均勻薄膜:濺射過程中,等離子體在靶材表面均勻分布,確保靶材原子的濺射均勻性。旋轉(zhuǎn)基片技術(shù)進(jìn)一步提高了薄膜在大面積基片上的均勻性。

  4. 多樣化靶材選擇:濺射鍍膜技術(shù)能夠處理多種材料,包括金屬、合金、陶瓷和復(fù)合材料,適用于不同工藝需求。


4
技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):

濺射鍍膜設(shè)備SMD系列(立式)

SMD系列是鍍金屬膜、ITOIGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設(shè)備。僅SMD系列就有超過1000臺的豐富的采用實(shí)績,在各種各樣的生產(chǎn)環(huán)境下運(yùn)轉(zhuǎn)。及時反映從生產(chǎn)現(xiàn)場聽取的意見,進(jìn)一步提高設(shè)備的可靠性。

僅基板搬送和側(cè)面鍍膜的方式

節(jié)約空間的設(shè)計

可以輕松的完成單獨(dú)基板管理,如成膜條件

根據(jù)鍍膜物不同選擇不同的陰排列

豐富的經(jīng)驗(yàn)和數(shù)據(jù)支持,廣泛的鍍膜工藝對應(yīng)




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