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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>有掩模光刻機(jī)>VPG 200 / VPG 400 有掩膜光刻機(jī)

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VPG 200 / VPG 400 有掩膜光刻機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

掩模制造

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

VPG 200 / VPG 400 體積圖形發(fā)生器是光刻系統(tǒng),為 i-line 光刻膠的多用途掩模制造而設(shè)計。它們支持所有標(biāo)準(zhǔn)的中小型面罩尺寸,大尺寸為 410 x 410 mm++2.

寫入模式

I-QX系列

一代

二代

三代

寫作表現(xiàn)





小結(jié)構(gòu)尺寸 [μm]

0.75

0.75

1

2

小行數(shù)和間距 [μm]

1.5

1.5

2

4

地址網(wǎng)格 [nm]

12.5

12.5

25

50

邊緣粗糙度 [3σ, nm]

30

40

50

70

CD均勻度 [3σnm]

55

65

75

110

拼接穩(wěn)定性 [3σ, nm]

30

60

70

100

2 層對準(zhǔn) [nm]

225

225

350

500

寫入速度 [mm2/min]

485

970

3150

6400

100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min]

28

14

5.6

3.5

系統(tǒng)特點


光源

355 nm 的高功率 DPSS 激光器

大基板尺寸

9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸

基板厚度

0 12 mm (可根據(jù)要求提供其他厚度)

大曝光面積

205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2

自動對焦

實時自動對焦系統(tǒng)(光學(xué)和氣動)

自動對焦補(bǔ)償范圍

高達(dá) 80 μm

流量箱

(閉環(huán))溫控環(huán)境試驗箱

對準(zhǔn)

用于測量和對準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包

其他功能和選項

2D載物臺貼圖和數(shù)據(jù)、Mura校正、邊緣檢測器、多種數(shù)據(jù)輸入格式(DXF、CIF、GDSII、Gerber等)、可選的自動掩模處理、可選的Zerodur®載物臺和特殊卡盤



系統(tǒng)尺寸



系統(tǒng) / 電子機(jī)架

寬度 [mm]

2605 / 800

深度 [mm]

1652 / 650

高度 [mm]

2102 / 1800

重量 [kg]

3550 / 180



安裝要求


電氣

400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz16 A, 3

壓縮空氣

6 - 10












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