Ionfab 300 IBD 離子束沉積

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

離子束沉積

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

多模式功能
能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設(shè)備相集成
單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
雙束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均勻性和工藝重復(fù)性
準(zhǔn)確終點(diǎn)監(jiān)測(cè) —— SIMS，發(fā)射光譜
產(chǎn)品特點(diǎn)
質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計(jì)-——運(yùn)行成本低
高速襯底架（高達(dá)1000RPM）設(shè)計(jì)，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實(shí)時(shí)光學(xué)薄膜控制
配置靈活 ——適于先進(jìn)的研究應(yīng)用
靈活的晶圓操作方式 —— 直開(kāi)式、單晶圓傳送模式或者帶機(jī)械手臂的盒對(duì)盒模式
應(yīng)用
磁阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器（MRAM）
介電薄膜
III-V族光電子材料刻蝕
自旋電子學(xué)
金屬電極和軌道
超導(dǎo)體
激光端面鍍膜
高反射（HR）膜
防反射（AR）膜
環(huán)形激光陀螺反射鏡
X射線光學(xué)系統(tǒng)
紅外（IR）傳感器
II-VI族材料
通信濾波器