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IVG-2035/3035 半自動雙軸減薄機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 特思迪
  • 型號 IVG-2035/3035
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/5 10:53:51
  • 訪問次數(shù) 315
產(chǎn)品標簽

減薄機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

半自動雙軸減薄機是一款高精度研削設備,它安裝了兩個砂輪軸,以提供更為靈活和高效的研削能力。該設備通過手動裝片方式操作,并配備了自動厚度測量和補償系統(tǒng),確保研削過程中的精度和一致性。半自動雙軸減薄機的工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化設計,以滿足不同尺寸和材料的加工需求。

2 設備用途:

半自動雙軸減薄機主要用于半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域。其主要用途包括:

  1. 半導體制造:在半導體晶圓的制造過程中,對晶圓進行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對晶圓厚度的嚴格要求。

  2. 硅片加工:對硅片進行高精度研削,調(diào)整硅片厚度,提高硅片的質(zhì)量和加工效率。

  3. 光學材料處理:在光學元件的制備過程中,對光學材料進行精確減薄,以滿足光學元件對材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。

  4. 薄膜材料制備:在薄膜材料的制備過程中,半自動雙軸減薄機可用于對薄膜進行精確控制厚度的研削加工。

3. 設備特點

半自動雙軸減薄機具有以下幾個顯著特點:

  1. 高精度:采用優(yōu)良的研削技術和精密的控制系統(tǒng),確保研削過程的高精度和一致性。厚度在線測量重復精度可達±0.001 mm,滿足高精度加工需求。

  2. 雙軸研削單元:配備兩個砂輪軸,能夠同時進行粗磨和精磨操作,提高加工效率,并減少工件在不同工序間的轉(zhuǎn)移時間。

  3. 自動厚度測量和補償系統(tǒng):實時測量工件厚度,并根據(jù)測量結果自動調(diào)整研削量,確保研削后的工件厚度達到預定目標值。

  4. 定制化工作臺:工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化設計,以適應不同尺寸和材料的加工需求,提高設備的靈活性和適用性。

綜上所述,半自動雙軸減薄機以其高精度、雙軸研削單元、自動厚度測量和補償系統(tǒng)、定制化工作臺、操作靈活以及良好的兼容性等特點,在半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域發(fā)揮著重要作用。

4  設備參數(shù):


項目

IVG-2035

IVG-3035

大晶圓尺寸

8 英寸

12 英寸

砂輪規(guī)格

?203(OD)mm

?303(OD)mm

砂輪軸功率

6.0 KW

9.5 KW

砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍

0~6000 RPM

0~4000 RPM

工作臺轉(zhuǎn)速

0~400 RPM

0~260 RPM

Z軸進給速度

0.1~1000 um /sec

0.1~1000 um /sec

厚度在線測量重復精度

±0.001 mm

±0.001 mm

厚度在線測量范圍(OMM

0-4800um

0-4800um

NCG非接觸實時測厚系統(tǒng)

可選配

可選配





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