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TSP-610 /810/910/1270 單面拋光機(jī)

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晶圓拋光

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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1.  產(chǎn)品概述:

單面拋光機(jī)是一種高精度平面拋光設(shè)備,主要用于對(duì)片狀、圓盤類或其他非金屬和金屬零件的表面進(jìn)行拋光處理。它通過旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),使磨料在磨具上作往復(fù)運(yùn)動(dòng),以摩擦的形式去除工件表面的粗糙度(如氧化劃痕等),同時(shí)利用磨料的滾動(dòng)和加壓作用,使工件表面達(dá)到一定的光潔度。

2 設(shè)備用途/原理:

單面拋光機(jī)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域和材料的加工:

  1. 石英晶體片、硅、鍺片等半導(dǎo)體材料的平面拋光。

  2. 玻璃、陶瓷片等非金屬材料的精細(xì)拋光。

  3. 活塞環(huán)、閥板、閥片、軸承等機(jī)械零件的平面處理。

  4. 鉬片、藍(lán)寶石等特殊材料的拋光加工。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

1 高精度加工:單面拋光機(jī)通過精確的機(jī)械結(jié)構(gòu)和控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)工件表面的高精度拋光,滿足嚴(yán)格的加工要求。

2 靈活可調(diào):設(shè)備配備了加壓氣缸和拋光液自動(dòng)供給裝置,可以隨意調(diào)節(jié)拋光壓力和拋光時(shí)間,以適應(yīng)不同材料和加工需求。

3 穩(wěn)定可靠:主機(jī)選用變頻調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng),裝備大功率減速體系,實(shí)現(xiàn)軟啟動(dòng)和軟中止,作業(yè)平穩(wěn)可靠。

4 操作便捷:機(jī)床造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了操作和維修的便利性,易于操作和維護(hù)。

5 智能控制:部分先進(jìn)型號(hào)的單面拋光機(jī)還配備了文本顯示器和電機(jī)變頻調(diào)速系統(tǒng),能夠精確控制拋光量和磨削速度,實(shí)現(xiàn)智能化加工。

6 多樣化設(shè)計(jì):單面拋光機(jī)可根據(jù)加工工件的不同,定制不同的工作臺(tái)和夾具,以適應(yīng)多樣化的加工需求。

綜上所述,單面拋光機(jī)以其高精度、靈活可調(diào)、穩(wěn)定可靠、操作便捷和智能控制等特點(diǎn),在多個(gè)領(lǐng)域和材料的加工中發(fā)揮著重要作用。

規(guī)格/型號(hào)

TSP-610

TSP-810

TSP-910

TSP-1270

拋光盤規(guī)格

OD610mm

OD810mm

OD914mm

OD1270mm

拋光盤轉(zhuǎn)速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

0~60 RPM

陶瓷盤規(guī)格

OD240mm

OD305mm

OD360mm

OD485mm

拋光頭數(shù)量

2

4

4

4

拋光頭轉(zhuǎn)速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~75 RPM

0~65 RPM

拋光頭擺動(dòng)

硬軌液壓車刀系統(tǒng)

可選配

可選配

可選配





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