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TPC-2110 全自動(dòng)CMP拋光機(jī)

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拋光

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.  產(chǎn)品概述:

CMP拋光機(jī),全稱為化學(xué)機(jī)械拋光機(jī),是一種針對(duì)薄膜(如介質(zhì)層)進(jìn)行拋光處理的設(shè)備。它結(jié)合了化學(xué)刻蝕和機(jī)械摩擦的綜合作用,通過精確控制拋光過程中的化學(xué)和機(jī)械參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓表面材料的精細(xì)去除和平坦化處理。CMP拋光機(jī)具有操作便捷、兼容性強(qiáng)等特點(diǎn),能夠根據(jù)不同尺寸和類型的晶圓進(jìn)行適配,并通過更換拋光壓頭等方式實(shí)現(xiàn)多種拋光工藝的需求。

2.  設(shè)備用途/原理:

CMP拋光機(jī)在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色,其主要用途包括:

1. 晶圓表面平坦化:在集成電路制造過程中,CMP拋光機(jī)用于對(duì)晶圓表面進(jìn)行平坦化處理,以消除表面起伏和缺陷,提高晶圓表面的平整度。這對(duì)于后續(xù)工藝步驟的順利進(jìn)行和芯片性能的提升至關(guān)重要。

2. 薄膜厚度控制:CMP拋光機(jī)能夠精確控制晶圓表面薄膜的厚度,確保薄膜厚度達(dá)到設(shè)計(jì)要求。這對(duì)于提高芯片的性能和可靠性具有重要意義。

3. 特殊材料加工:除了集成電路制造外,CMP拋光機(jī)還廣泛應(yīng)用于3D封裝技術(shù)、特殊材料加工等領(lǐng)域。例如,在3D封裝技術(shù)中,CMP拋光機(jī)用于處理芯片之間的連接面,以確保連接的精確性和可靠性。

3.  設(shè)備特點(diǎn)

CMP拋光機(jī)具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn):

1  高精度控制:CMP拋光機(jī)采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)拋光過程中各項(xiàng)參數(shù)的精確控制。這包括拋光壓力、拋光盤轉(zhuǎn)速、拋光頭轉(zhuǎn)速等關(guān)鍵參數(shù),從而確保拋光效果的穩(wěn)定性和一致性。

2 多工藝兼容:CMP拋光機(jī)具有較強(qiáng)的兼容性,能夠根據(jù)不同材料和工藝的需求進(jìn)行適配。通過更換拋光壓頭、調(diào)整拋光液配方等方式,CMP拋光機(jī)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多種材料和工藝的拋光處理。

3 自動(dòng)化程度高:現(xiàn)代CMP拋光機(jī)通常配備有自動(dòng)化上下片系統(tǒng)、自動(dòng)清洗系統(tǒng)等輔助設(shè)備,能夠?qū)崿F(xiàn)拋光過程的自動(dòng)化操作。這不僅提高了生產(chǎn)效率,還降低了人工操作帶來的誤差和風(fēng)險(xiǎn)。

4 環(huán)保節(jié)能:CMP拋光機(jī)在設(shè)計(jì)和制造過程中注重環(huán)保和節(jié)能。例如,采用低能耗的電機(jī)和傳動(dòng)系統(tǒng)、優(yōu)化拋光液配方以減少?gòu)U液排放等措施,都有助于降低設(shè)備運(yùn)行過程中的能耗和環(huán)境污染。

綜上所述,CMP拋光機(jī)作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要設(shè)備之一,具有高精度控制、多工藝兼容、自動(dòng)化程度高和環(huán)保節(jié)能等特點(diǎn)。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步,CMP拋光機(jī)也將不斷升級(jí)和完善,為半導(dǎo)體制造行業(yè)的發(fā)展提供更加有力的支持。
 4. 設(shè)備參數(shù)

規(guī)格/參數(shù)

TPC-2110

晶圓尺寸

兼容6/8英寸

加工形式

全自動(dòng)干進(jìn)干出

拋光盤數(shù)量

1

拋光盤轉(zhuǎn)速

0-200 RPM

拋光頭轉(zhuǎn)速

0-200RPM

Wafer氣囊壓力

0-700 g/cm2

分區(qū)加壓

8英寸5區(qū),6英寸3區(qū)

保持環(huán)壓力

0-700 g/cm2

修整器

擺臂式金剛石修整器

清洗工位

3個(gè):2個(gè)刷洗+1個(gè)兆聲&干燥

研磨大速率(Sio2

200nm/min

研磨后晶圓表面粗糙度(Sio2)

Ra≤0.5nm(監(jiān)測(cè)區(qū)域 面積≥5umx5um)

Sio2研磨去除速率

片間非均勻性≤5%

Sio2研磨去除速率

片內(nèi)非均勻性≤5%(去邊5EE,同一直徑從左到右 9 點(diǎn))





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