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TSC-150C/200C CMP后清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 特思迪
  • 型號 TSC-150C/200C
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/6 11:22:51
  • 訪問次數(shù) 258
產(chǎn)品標簽

CMP后清洗

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)


該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，采用連線式結(jié)構(gòu)，設(shè)備加配全自動上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進干出，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。

產(chǎn)品特點

全自動系統(tǒng)

皮帶傳動， cassette in/out 干進干出

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

清洗工藝

預清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮氣吹干

刷子類型

PVA 刷, 雙面刷洗

性能參數(shù)

規(guī)格/參數(shù)TSC-150CTSC-200C
工藝雙面刷洗雙面刷洗
清洗工位皮帶傳送式6工位皮帶傳送式6工位
上下片全自動全自動
晶圓尺寸3-6 inch6-8 inch
上料位浸沒式浸沒式
漂洗（預清洗）DIW沖洗DIW沖洗
刷洗工位*22個PVA刷，雙面刷洗2個PVA刷，雙面刷洗
PVA刷轉(zhuǎn)速30-400 RPM30-400 RPM
兆聲清洗可選可選
氮氣吹干有有







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