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TSC-100/300S/200L CMP后清洗機(jī)

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CMP

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

該系列設(shè)備是晶圓CMP后的用清洗設(shè)備,有單工位、轉(zhuǎn)位式、連線式等不同結(jié)構(gòu),以適用不同應(yīng)用場(chǎng)景,其中連線式設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面積小,濕進(jìn)干出,適用于各類CMP后晶圓的清洗。 

功能齊全

系列設(shè)備均配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能

操作簡(jiǎn)便

PLC系統(tǒng),觸摸屏控制,一鍵式自動(dòng)完成刷洗清洗加工,其中連線式設(shè)備配有全自動(dòng)上下片系統(tǒng),cassette to cassette使用更加方便

兼容性好

通過更換夾具,可兼容4-12英寸晶圓

占地面積小

盡量減少潔凈間的占地面積

產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格/型號(hào)TSC-100TSC-300STSC-200L
工藝單面刷洗雙面刷洗雙面刷洗
清洗工位單腔單工位單腔單工位連線式6工位
上下片手動(dòng)手動(dòng)全自動(dòng)
機(jī)械手雙臂機(jī)械手
晶圓尺寸4-6 inch4-12 inch6-8 inch
漂洗(預(yù)清洗)DIW沖洗DIW沖洗DIW沖洗
刷洗機(jī)構(gòu)1個(gè)PVA刷,單面刷洗2個(gè)PVA刷,雙面刷洗2個(gè)PVA刷,雙面刷洗
兆聲清洗可選可選可選
氮?dú)獯蹈?/span>





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