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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備>TWB-200 晶片清洗機

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TWB-200 晶片清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

本機是一款全自動晶片刷洗機，全程封閉環(huán)境采用機械手自動操作，具備刷洗甩干功能，適用于各種半導體襯底材料拋光后的刷洗，可有效減少晶片表面顆粒污染。

功能齊全

具備刷洗甩干功能，全程封閉環(huán)境機械手操作，風險小，避免二次污染

操作簡便

PLC觸摸屏控制，機械手自動完成cassette to cassette的全自動晶片刷洗工作

兼容性好

可兼容2、4、6英寸晶片

占地面積小

盡量減少潔凈間的占地面積

性能參數(shù)

項目TWB-200
晶圓尺寸兼容2、4、6inch
全自動上下片系統(tǒng)有
上料平臺2個
下料平臺2個
清洗工位2個
晶片固定真空吸附
刷洗PVA刷，可上下左右移動
干燥方式高速甩干
控制系統(tǒng)PLC觸摸屏




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