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Shale® A 系列 8英寸等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

PECVD

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

8英寸等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備

1. 產(chǎn)品概述

Shale® A系列等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)是一款先進的薄膜沉積設(shè)備,旨在滿足半導(dǎo)體制造和相關(guān)領(lǐng)域?qū)τ诟哔|(zhì)量薄膜沉積的需求。該設(shè)備采用了平行電容板電場放電技術(shù),有效地產(chǎn)生等離子體,這種等離子體環(huán)境使得各種薄膜材料的沉積過程更加高效和精準(zhǔn)。

在操作溫度方面,Shale® A系列設(shè)備能夠在400°C及以下的條件下,實現(xiàn)較為致密且均勻的薄膜沉積。這一特性使其成為沉積多種材料的理想選擇,包括氧化硅、TEOS(四乙氧基硅烷)、BPSG(摻鋁的硅玻璃),以及氮化硅、氮氧化硅、非晶硅、非晶碳和非晶碳化硅等多種高性能薄膜材料。

此外,Shale® A系列設(shè)備在設(shè)計和制造過程中,充分考慮了國際市場的標(biāo)準(zhǔn),采用了符合SEMI(美國半導(dǎo)體設(shè)備與材料國際協(xié)會)標(biāo)準(zhǔn)的通用零部件,確保設(shè)備在全球范圍內(nèi)的兼容性和可用性。同時,該設(shè)備經(jīng)過了一系列嚴(yán)格的穩(wěn)定性和可靠性測試,驗證其能夠在實際生產(chǎn)中保持優(yōu)異的性能表現(xiàn),從而為用戶提供了一個可信賴的沉積解決方案。這使得Shale® A系列PECVD設(shè)備不僅適用于高技術(shù)要求的半導(dǎo)體行業(yè),還能夠確保在各種應(yīng)用場景中的穩(wěn)定運行。

2. 系統(tǒng)特性

可提供基于硅烷(SiH4)體系的薄膜沉積方案,還可選正硅酸乙酯(TEOS)體系的沉積方案

可提供雙頻設(shè)備,使氮化硅(SiNx)的應(yīng)力可調(diào),范圍從壓應(yīng)力-1.6GPa到張應(yīng)力+0.7GPa

可提供n/p型摻雜,滿足磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)等摻雜氧化硅工藝的需求

8/6英寸兼容






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