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ELIONIX-5 超顯微壓痕硬度計(jì)

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半導(dǎo)體工藝測(cè)量檢測(cè)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

      超顯微壓痕硬度計(jì),作為顯微硬度計(jì)的一種高級(jí)形式,是專為微小、薄型和脆硬材料硬度測(cè)試設(shè)計(jì)的精密儀器。它結(jié)合了現(xiàn)代光學(xué)、電子技術(shù)和機(jī)械設(shè)計(jì)的最新成果,能夠在極小的尺度下精確測(cè)量材料的硬度。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、冶金、地質(zhì)學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,是實(shí)驗(yàn)室質(zhì)檢部門、計(jì)量院所及科研機(jī)構(gòu)質(zhì)量控制、材料研究的重要工具。

2 設(shè)備用途:

  微小試件測(cè)試:超顯微壓痕硬度計(jì)特別適用于測(cè)量微小、薄型試件的硬度,如金屬箔、薄膜、微小零件等。

  脆硬材料測(cè)試:能夠測(cè)試玻璃、瑪瑙、人造寶石、陶瓷等脆硬非金屬材料的硬度,滿足這些材料在特殊應(yīng)用中的性能評(píng)估需求。

  表面加工層測(cè)試:用于電鍍層、硬化層(如氧化層、滲層、涂鍍層)等表面加工層的硬度測(cè)試,評(píng)估表面處理質(zhì)量。

  多點(diǎn)測(cè)量與深層分析:在細(xì)微部分進(jìn)行精密定位的多點(diǎn)測(cè)量,以及壓痕的深層測(cè)試與分析,為材料的微觀力學(xué)行為研究提供數(shù)據(jù)支持。

3 設(shè)備特點(diǎn)

  高精度測(cè)量:采用高倍率光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)和優(yōu)良的浮點(diǎn)計(jì)算方法,確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

  無(wú)損檢測(cè):壓痕小,對(duì)樣品幾乎無(wú)損傷,適合在狹小范圍內(nèi)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。

  操作便捷:配備超大屏幕和中文操作系統(tǒng),操作界面友好,易于上手。

  功能豐富:具備數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、輸出功能,支持多種測(cè)試模式和數(shù)據(jù)分析方法,滿足不同用戶的測(cè)試需求。

  穩(wěn)定性強(qiáng):機(jī)械結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,采用高品質(zhì)的光學(xué)材料和電子器件,確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

4 技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):

 高負(fù)載單元

?可進(jìn)行5μN(yùn)2N的試驗(yàn)。

?適用于從金屬材料到高分子材料的各種材料的硬度試驗(yàn)。

低負(fù)載單元

·兼容 0.5 μN(yùn) 10 mN。

·對(duì)于軟質(zhì)材料(彈性模量:幾GPa以下)和10nm以下壓痕深度的測(cè)量具有出色的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性,可以對(duì)100nm以下的超薄膜進(jìn)行納米壓痕測(cè)試。

?能夠以0.1μm為單位進(jìn)行定位

? 2,000 倍的觀察倍率測(cè)量任何位置(使用 20 倍標(biāo)準(zhǔn)物鏡和數(shù)碼變焦時(shí))

?支持從 0.5 μN(yùn)  2,000 mN 的廣泛測(cè)試負(fù)載

?擋風(fēng)玻璃內(nèi)的溫度控制在±0.1℃

?測(cè)量部件采用低熱膨脹材料(nobinite




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