精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆

官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會(huì)展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>有掩模光刻機(jī)>DSC300 投影掃描光刻機(jī)

分享
舉報(bào) 評價(jià)

DSC300 投影掃描光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

光刻機(jī)SUSS

聯(lián)系方式:謝澤雨查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!




深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

用于200毫米和300毫米晶圓的靈活切換的DSC300 Gen3Bridge‐Tool經(jīng)過重新設(shè)計(jì),性能更高,縮短不必要的時(shí)間。DSC300 Gen3掃描儀可提供每小時(shí)超過80片的300毫米晶圓產(chǎn)量。。其增強(qiáng)的1X Wynne‐Dyson光學(xué)鏡組和四個(gè)可按工藝菜單可選擇的數(shù)值孔徑(NA),使其能夠在薄光刻膠的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)2微米的精細(xì)分辨率,以及在厚光刻膠應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)>100微米的DoF。DSC300 Gen3的全視野成像技術(shù)支持大尺寸晶粒圖案和異質(zhì)集成的混合芯片封裝的行業(yè)路線要求。此外,扇出式晶圓封裝應(yīng)用可以從其光學(xué)晶粒偏移補(bǔ)償選項(xiàng)中受益。這個(gè)新的晶粒偏移和擠進(jìn)/擠出緩解功能可以糾正高達(dá)±200ppm(在直徑為300毫米的晶圓上為30微米)。

2.產(chǎn)品工藝

通過投影掃描光刻機(jī)DSC300 Gen3,蘇斯微技術(shù)公司為其掩模對準(zhǔn)器產(chǎn)品組合提供了一項(xiàng)補(bǔ)充技術(shù),并為傳統(tǒng)的投影步進(jìn)光刻技術(shù)提供了生產(chǎn)成本的選擇。

傳統(tǒng)的1X步進(jìn)光刻機(jī)浪費(fèi)了過多的時(shí)間來提高平臺(tái)移動(dòng)速度,降低平臺(tái)速度,然后停止和穩(wěn)定。這種浪費(fèi)的時(shí)間是乘以50~70次的曝光的累加,直接導(dǎo)致產(chǎn)能相當(dāng)?shù)汀?/span>

相對而言,DSC300 Gen3采用其有的平滑、連續(xù)的蛇形掃描技術(shù),速度特別快‐‐沒有停下來浪費(fèi)時(shí)間的情況 。高度均勻的光束及其控制良好的投射區(qū)域確保了晶圓邊緣的所有圖形特征得到與晶圓內(nèi)部相同的均勻曝光劑量。此外,光束在每次掃描時(shí)都會(huì)有50%的重疊,以進(jìn)一步均勻化整個(gè)晶圓的劑量。

在每次掃描曝光之,系統(tǒng)都會(huì)測量紫外線強(qiáng)度并控制平臺(tái)的速度,以提供工藝菜單中所設(shè)定的預(yù)期紫外線劑量。整個(gè)晶圓上的掃描光強(qiáng)均勻性可以達(dá)到97%≤3%的不均勻度)。

3.特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

使用易于設(shè)計(jì)的全場掩模光刻版(非倒置)。

佳的圖案和位置復(fù)制

適用于大芯片和異質(zhì)集成的技術(shù)

沒有步進(jìn)曝光范圍大小的限制‐沒有拼接的問題

曝光時(shí)間快,并且均勻性好




化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費(fèi)注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能

亚洲av专区在线观看国产-丰满人妻av一区二区三区| 国产欧美日韩中文字幕在线-国产伊人一区二区三区四区| 国产小黄片高清在线观看-涩涩鲁精品亚洲一区二区| 久色高清精品在线国产-国产精品视频一区三区四区| 91精品国产无线乱码在线-999精品视频免费看| 欧美一级一线在线观看-亚洲一区二区亚洲三区| 亚洲av乱码一区二区-九九免费在线观看视频| 亚洲一区二区少妇激情-国产精品美女久久高潮| 亚洲欧洲成视频免费观看-国产福利一区二区在线观看| 97一区二区三区在线-欧美护士性极品hd4k| 熟妇勾子乱一区二区三区-欧美爱爱视频一区二区| av噜噜国产在线观看-欧美视频亚洲视频一区二区三区| 熟妇勾子乱一区二区三区-欧美爱爱视频一区二区| 国产欧美日韩中文字幕在线-国产伊人一区二区三区四区| 亚洲av综合av一区东京热-黄页免费视频网站在线观看| 国产一级片久久免费看同-麻豆精品尤物一区二区青青| 亚洲av日韩五月天久热精品-国产日韩欧美一区二区三区群战| 亚洲欧美一区二区中文-台湾中文综合网妹子网| mm在线精品视频在线观看-欧美国产日韩在线一区二区三区| 国产黄污网站在线观看-成人av电影中文字幕| 99久热精品免费观看四虎-亚洲天堂精品视频在线| 国语自产偷拍精品视频偷拍-国产伊人这里只有精品视频| 久久精品国产亚洲av湖南-竹菊精品一区二区三区| 亚洲另类熟女国产精品-懂色一区二区三区在线播放| 欧美日韩成人在线观看-久久五月婷婷免费视频| 蜜臀一区二区三区精品在线-99久久久精品免费看国产| 国产精品久久久精品一区-99久久免费精品国产男女性高好| 欧美日本亚一级二级三区久久精品-日韩欧美一区二区久久婷婷| 亚洲精品激情一区二区-久久成人国产欧美精品一区二区| 国产精品久久99精品毛片-国产四季高清一区二区三区| 亚洲产国偷v产偷v自拍性色av-亚洲欧美日韩国产三区| 久久特一级av黄色片-91社区视频免费观看| 少妇人妻无码久久久久久-综合图片亚洲网友自拍| 欧美aa一级视频播放-久一一区二区三区大香蕉| 免费av一区在线观看-国产精品视频高潮流白浆视频免费| 成人av一区二区蜜桃-亚洲色图激情人妻欧美| 中文字幕日韩精品不卡一区二区-成人av在线观看一区二区| 亚洲av乱码一区二区-九九免费在线观看视频| 两性污污视频网站在线观看-亚洲欧美日韩激情一区| 久久精品人妻一区二区三区极品-久久99热这里只有精品免费| 五月婷婷免费观看视频-男人操女人下面视频在线免费看|