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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>有掩模光刻機>VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機

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VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 STELLA/海德堡儀器
  • 型號 VPG 800 / VPG 1400
  • 產地
  • 廠商性質 經銷商
  • 更新時間 2024/8/27 10:28:56
  • 訪問次數(shù) 318
產品標簽

海德堡有掩膜

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


 

 

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機為光掩模(0.8至1.4 m)的高通量圖案化而定制。VPG1400是我們專為顯示行業(yè)設計的最大的系統(tǒng)。它是平板顯示器 (FPD) 應用的好的選擇,例如 TFT 陣列、彩色濾光片和 ITO。這些工具還用于先進封裝、半導體、LED 和觸摸屏應用的工業(yè)大面積光掩模應用。

VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機

大光刻面積VPG+:技術的領航
大光刻面積的VPG  +維持原VPG系列為根基再進化,使其更加出色。VPG于2007年推出;  是擁有專量產型曝光技術光刻系統(tǒng),可靠和經濟的解決方案,適用于要求嚴謹?shù)难谀ぐ逯圃臁?/span>

速度更快:超高速曝光
VPG+系列具有海德堡所研發(fā)的高速光學調制器,在速度下,曝光時間可以達到原始VPG的三倍!強化了曝光動能與數(shù)據(jù)傳輸路徑。

功能和選項:配備性能
VPG  +可配置各種平臺尺寸,最大可達1400mmx1400mm。  該系統(tǒng)具有355nm波長的紫外激光源,空氣軸承平臺,半自動或全自動入料器,用于基板裝載的溫控環(huán)境室。

應用:光罩制造和直接寫入
大光刻面積的VPG  +系統(tǒng)適用于advanced packaging, semiconductors, displays, color filters, light  emitting diodes, touch panel以及l(fā)ife  science應用。出色的圖像質量和對位功能,也非常適合在大面積執(zhí)行多層套刻直寫。

VPG+  最大型的設備VPG+  1400專門針對顯示器相關行業(yè)應用:是所有VPG+系列中功能具有極其完善的溫控環(huán)境室,差分干涉儀和先進的mura校正以及面板間距優(yōu)化功能。






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