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SENTECH SI 500 CCP RIE等離子刻蝕系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 SENTECH
  • 型號 SENTECH SI 500 CCP
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/4 17:35:38
  • 訪問次數(shù) 502
產(chǎn)品標簽

RIE刻蝕SENTECH

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SI 500 CCP 系統(tǒng)使用動態(tài)溫度控制和氦背冷卻,代表了材料蝕刻靈活性的優(yōu)勢。等離子體蝕刻過程中的襯底溫度設(shè)置和穩(wěn)定性是高質(zhì)量蝕刻的嚴格標準。具有動態(tài)溫度控制功能的襯底電極與氦氣背面冷卻和晶圓背面溫度傳感相結(jié)合,可在很寬的溫度范圍內(nèi)提供出色的工藝條件。

2. 主要功能與優(yōu)勢

材料蝕刻靈活性

從結(jié)構(gòu)電介質(zhì)到GaAs和InP等III-V族化合物,SENTECH SI 500 CCP RIE 等離子體蝕刻系統(tǒng)具有氦氣 (He) 背面冷卻功能,可在很寬的溫度范圍內(nèi)(RT 至 250°C)工作。金屬的物理蝕刻和量子材料(如石墨烯和hBN)的慢速蝕刻是可能的。

優(yōu)異的工藝穩(wěn)定性

他的背面冷卻和動態(tài)溫度控制通過防止基板加熱來實現(xiàn)穩(wěn)定的蝕刻。使用SENTECH自適應(yīng)襯底處理,可以在不打開反應(yīng)器的情況下,通過氦氣背面冷卻輕松處理小晶圓。

優(yōu)異的均勻性

SI 500 CCP 在 RIE 模式下運行,帶有噴淋頭,可實現(xiàn)均勻的氣體分布,可在高達 200 mm 的基材上提供出色的均勻性和一致的結(jié)果。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SI 500 CCP 是一種導電耦合等離子體 (CCP) 蝕刻系統(tǒng),具有氦背面冷卻功能,用于在 RIE 模式下處理襯底。它專為 III/V 和 Si 加工領(lǐng)域的模塊化和工藝靈活性而設(shè)計。

該系統(tǒng)在不同技術(shù)的所有重要蝕刻工藝中都得到了充分的驗證,并且可以執(zhí)行各種蝕刻工藝。

SENTECH SI 500 CCP由先進的硬件和SIA操作軟件控制,具有客戶端-服務(wù)器架構(gòu)。一個經(jīng)過充分驗證的可靠可編程邏輯控制器(PLC)用于所有組件的實時控制。





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