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SENTECH SENDIRA 薄膜計(jì)量紅外光譜橢圓儀

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紅外光譜薄膜計(jì)量

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SENDIRA 為紅外 (FTIR) 而設(shè)計(jì)。這款緊湊的臺式儀器包括吹掃橢偏儀光學(xué)元件、計(jì)算機(jī)控制的測角儀、水平樣品平臺、自動準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 (1.7 μm – 25 μm) 的光譜范圍內(nèi)提供出色的精度和高分辨率。

2. 主要功能與優(yōu)勢

測量靈活性

SENTECH SENDIRA 橢圓偏振光譜儀可測量散裝材料、單層和多層堆疊的薄膜厚度、折射率、消光系數(shù)和相關(guān)特性。該工具可用于覆蓋在可見范圍內(nèi)不透明的層下方的層,使其可用于測量??梢苑治霾牧系慕M成以及較大分子基團(tuán)和鏈的取向。

橢圓振動光譜

利用紅外光譜中分子振動模式的吸收帶分析了薄層的組成。此外,載流子濃度可以用這種FTIR光譜橢偏儀測量。

適用的傅里葉變換紅外

對于 Thermo Fisher Scientific 光譜儀的商用 FTIR iS50,安裝了紅外橢偏儀光學(xué)元件。它也可用于一般振動光譜法。

精確的測量和準(zhǔn)確的結(jié)果

SENTECH SENDIRA注于薄層的振動光譜分析。應(yīng)用范圍從介電薄膜、TCO 和半導(dǎo)體到有機(jī)層。SENDIRA 由 SpectraRay/4 軟件操作。另外還提供FTIR軟件。



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