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AP200/300 投影步進式光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

光刻投影步進

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

AP200/300系列光刻系統(tǒng)基于Veeco的可定制Unity平臺™構(gòu)建,可提供覆蓋層、分辨率和側(cè)壁輪廓性能,并可實現(xiàn)高度自動化和具有成本效益的制造。這些系統(tǒng)特別適用于銅柱、扇出、硅通孔(TSV)和硅中介層應(yīng)用。此外,該平臺還具有許多特定于應(yīng)用的產(chǎn)品功能,可實現(xiàn)下一代封裝技術(shù),例如增強的翹曲晶圓處理、雙面對準和光學聚焦。

2.主要特點

2μm分辨率寬帶投影鏡頭,為先進封裝應(yīng)用而設(shè)計

曝光波長為350–450nm,適用于各種先進封裝感光材料

可編程波長選擇(GHI、GH、I),用于工藝優(yōu)化和工藝寬容度

高強度照明提供系統(tǒng)吞吐量

適用于厚光刻膠工藝和大型晶圓形貌的大焦深

高系統(tǒng)吞吐量,帶來有利的系統(tǒng)擁有成本

高強度照明可減少曝光時間

8x26mm的視場大小可暴露兩個掃描視場,從而減少每個晶圓的曝光步驟數(shù)

快速系統(tǒng)載物臺和晶圓輸入/輸出系統(tǒng)

具有自計量功能的靈活對準系統(tǒng)

機器視覺系統(tǒng)(MVS)對準功能消除了對用對準目標的需求,并簡化了過程集成

用于硅通孔和3D封裝的紅外對準系統(tǒng),使用嵌入式/埋式目標捕獲

步進自測量(SSM)用于優(yōu)化產(chǎn)品覆蓋

先進封裝特定特性

用于電鍍工藝的晶圓邊緣曝光和晶圓邊緣排除功能

翹曲晶圓處理能力可達7mm,適用于扇出應(yīng)用

通用晶圓處理,無需硬件轉(zhuǎn)換(8和12英寸;或6和8英寸)

用于制造大面積中介層的現(xiàn)場拼接軟件

完整的SECS/GEM軟件包支持生產(chǎn)自動化和設(shè)備/過程跟蹤

3.設(shè)備應(yīng)用:

先進封裝

發(fā)光二管

微機電系統(tǒng)

功率器件

AP200/300應(yīng)用套件:

重新分布層

微柱

硅通孔

Veeco通過AP光刻技術(shù)實現(xiàn)重大差異:

行業(yè)翹曲晶圓處理

光學對焦能力

CD均勻性生產(chǎn)線分辨率,適用于L/S

安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過驗證的大批量生產(chǎn)




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