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SAM Premium 超聲掃描顯微鏡

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半導(dǎo)體測量檢測

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

PVA TePla 超聲掃描顯微鏡SAM Premium系列結(jié)合了聲學(xué)顯微鏡和光學(xué)顯微鏡。它使超聲掃描平臺(tái)與倒置光學(xué)顯微鏡或反射式光學(xué)顯微鏡相結(jié)合。SAM Premium系列所使用的技術(shù)是以融合了生產(chǎn)和研究技術(shù)的核心平臺(tái)為基礎(chǔ)。SAM Premium系列旗下各個(gè)系統(tǒng)均具有高產(chǎn)量、高靈活性和寬廣的掃描范圍等特性。此外,各系統(tǒng)還可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行擴(kuò)展,并用于多樣化的應(yīng)用。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢

高頻和換能器技術(shù):高頻和換能器技術(shù)可支持各類特定研究和工業(yè)應(yīng)用,其中高頻范圍可高達(dá)400 MHz,并提供5 MHz和400 MHz之間的可選擇頻率范圍。此外,每個(gè)換能器都配備了門的自動(dòng)對焦功能。其特征在于,該系統(tǒng)可通過特殊的音爆高頻單元升到1000MHz的聲學(xué)成像。

一直以來,PVA TePla致力于為企業(yè)客戶及科研單位提供無損檢測設(shè)備,滿足客戶要求。目,我們的SAM系列應(yīng)用于工業(yè)域及多個(gè)高科技行業(yè),如半導(dǎo)體行業(yè)、電子/電氣行業(yè)等等。

3.產(chǎn)品工藝

X和Y方向的掃描范圍可以單獨(dú)自定義,可選擇以下掃描范圍配置:        

250µm x 250µm到320mm x 320mm

250µm x 250µm到502mm x 502mm

HiSA(高速掃描軸)、或動(dòng)態(tài)穿透式掃描等,可實(shí)現(xiàn)高性能掃描成像結(jié)果。HiSA(高速掃描軸)跟隨樣品弓形,具有動(dòng)態(tài)聚焦功能。動(dòng)態(tài)穿透式掃描可在25MHz至100MHz的頻率范圍內(nèi)使用。





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