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H6-15 勻膠機(jī)

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半導(dǎo)體前道勻膠機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

laurell的H6-15系列勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有優(yōu)良的功能,設(shè)計(jì)為容易安裝在手套箱中的旋涂機(jī)。這款650系列HL涂布機(jī)系統(tǒng) 將 可容納高達(dá)300mm 的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM(基于100mm硅片)。

2.設(shè)備原理:

利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3.產(chǎn)品特色:

所有HL 系列系統(tǒng)都包括一個(gè)無線平板電腦,該平板電腦具有Laurell Touch 過程控制軟件。

通過使用其隨附的PC 軟件Spin 3000,它在流程定義和使用方面都實(shí)現(xiàn)了高的靈活性。該無線控制器允許操作員在實(shí)驗(yàn)室的任何地方進(jìn)行實(shí)時(shí)交互,包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。

這些過程在控制水平下運(yùn)行,我們提供的復(fù)雜性。HL 系列控制器也可以與帶有 Spin 3000 的 PC 結(jié)合使用, Laurell 的流程管理軟件。但是,這不是編程或運(yùn)行設(shè)備所必需的。

使用 PC 增加了在運(yùn)行過程、遠(yuǎn)程操作、編程或通過 LAN 或 Internet 進(jìn)行通信時(shí)記錄過程的能力。該軟件免費(fèi)提供,允許操作員在實(shí)際安裝的自旋處理器硬件之外創(chuàng)建虛擬過程模擬,實(shí)際上,讓他們?cè)谶M(jìn)入過程之可以嘗試一下。所有HL系列系統(tǒng)都可以在不返回工廠的情況下通過簡單的插件模塊進(jìn)行升或重新利用,無論是實(shí)際的還是虛擬的,并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。





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