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Epiluvac ER3-C1 SiC分子外延系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 Veeco
  • 型號 Epiluvac ER3-C1
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/5 10:45:16
  • 訪問次數(shù) 295
產(chǎn)品標簽

SiC外延分子外延薄膜沉積

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

Epiluvac ER3-C1

晶圓直徑可達 200 mm (8“)

通過熱壁拓撲結構實現(xiàn)出色的均勻性

優(yōu)良的動態(tài)氣體流量控制,可實現(xiàn)佳生長速率和摻雜均勻性。

具有多個加熱區(qū)的出色溫度曲線

不含石英,適用于氯化工藝

在清潔的惰性氣氛中進行熱晶圓裝載/卸載可大限度地減少顆粒污染并延長石墨部件的使用壽命

模塊化設計,兩個、三個或四個反應器組成集群配置。每個反應器都針對特定的生長步驟進行了優(yōu)化

在受控環(huán)境中在反應器之間進行晶圓運輸

高達 1800 °C

適用于中小批量生產(chǎn)和研發(fā)

 

Epiluvac EPI 1000-C

熱壁 CVD 具有出色的均勻性

150 mm 基板直徑

單晶圓和手動裝載

非常適合研發(fā)

 

Epiluvac ER3-N1

上述ER3-C1系統(tǒng)的GaN版本

可選的原位監(jiān)測

獲得利的溫度控制,可大限度地減少晶圓彎曲

 

Epiluvac ER3-C1

晶圓直徑可達 200 mm (8“)

通過熱壁拓撲結構實現(xiàn)出色的均勻性

優(yōu)良的動態(tài)氣體流量控制,可實現(xiàn)佳生長速率和摻雜均勻性。

具有多個加熱區(qū)的出色溫度曲線

不含石英,適用于氯化工藝

在清潔的惰性氣氛中進行熱晶圓裝載/卸載可大限度地減少顆粒污染并延長石墨部件的使用壽命

模塊化設計,兩個、三個或四個反應器組成集群配置。每個反應器都針對特定的生長步驟進行了優(yōu)化

在受控環(huán)境中在反應器之間進行晶圓運輸

高達 1800 °C

適用于中小批量生產(chǎn)和研發(fā)

 

Epiluvac EPI 1000-C

熱壁 CVD 具有出色的均勻性

150 mm 基板直徑

單晶圓和手動裝載

非常適合研發(fā)

 

Epiluvac ER3-N1

上述ER3-C1系統(tǒng)的GaN版本

可選的原位監(jiān)測

獲得利的溫度控制,可大限度地減少晶圓彎曲




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