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GENxcel R&D 分子束外延MBE

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分子束外延MBE薄膜沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎(chǔ)上進(jìn)行的擴(kuò)展,GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統(tǒng),與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比,在單個 4 英寸襯底上具有高質(zhì)量的外延生長。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動傳輸系統(tǒng)、12 個源端口和集成到單框架設(shè)計中的現(xiàn)代電子設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)大的實(shí)驗室占地面積效率。

在直徑達(dá) 4 英寸的襯底上實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量外延層

單幀架構(gòu)提高了易用性,提供了便捷的源訪問和增強(qiáng)的可服務(wù)性

高效的一體化設(shè)計將手動系統(tǒng)與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,與其他 MBE 系統(tǒng)相比,可節(jié)省 40% 的實(shí)驗室空間

非常適合對各種材料進(jìn)行沿研究,包括砷化鎵、氮化物和氧化物

Molly® 軟件集成了簡單的配方編寫、自動生長控制和始終在線的數(shù)據(jù)記錄

可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器,可在 1850° 下提供經(jīng)過驗證的性能

可直接擴(kuò)展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)




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