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GNP POLI系列 CMP

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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1. POLI-762概述:

GNP POLI-762是高通用性12英寸(300mm) CMP工藝而開發(fā),也為先進(jìn)晶圓制造商和耗材供應(yīng)商設(shè)計(jì)的。

規(guī)格:機(jī)頭,工作臺(tái):30 200 rpm,旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),機(jī)頭振蕩(±15mm)。尺寸:1580W * 1480D * 1960H mm。壓板尺寸:Φ 762毫米(30英寸),特氟龍涂層鋁。壓制方式:可變空氣壓力電子控制器。膜型:70~ 350g /cm2 (1psi ~ 5psi)用于12"晶圓片。工藝:自動(dòng)順序,干/濕。

可增添選項(xiàng):墊式調(diào)理方法:擺頭式或擺臂式、單頭或雙頭系統(tǒng)、摩擦力和溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、自動(dòng)上下料系統(tǒng)、應(yīng)用程序、工件:12英寸晶圓片、CMP制程:Si CMP、氧化物CMP(BPSG、TEOS、SC)、金屬CMP(WCu)、STI、PGI等。

 

2. POLI-500概述:

GNP POLI-500廣泛用于耗材供應(yīng)商,襯底制造商和芯片開發(fā)商的8"(200mm)高研發(fā)評(píng)估。

規(guī)格:機(jī)頭,工作臺(tái):30 200rpm,旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),機(jī)頭振蕩(±15mm)。尺寸:1200W* 1160D * 1960H mm。壓板尺寸:508毫米(20英寸),陽(yáng)氧化鋁(可選:特氟龍涂層)。壓制方式:可變空氣壓力電子控制器。膜型:70~ 500g /cm2 (1psi ~ 7.1 psi)。工藝:自動(dòng)順序,干/濕。 

可增添選項(xiàng):墊式調(diào)理方法:擺頭式或擺臂式雙頭系統(tǒng)、摩擦力和溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

應(yīng)用程序工件:8英寸晶圓片,MEMS結(jié)構(gòu),貼片CMP制程:Si CMP、氧化物CMP(BPSG、TEOSSC)、金屬CMP(W、Cu)、STI、PGI

 

3. POLI-400L概述

GNP POLI-400L是為先進(jìn)的CMP工藝開發(fā)應(yīng)用,如MEMS, as以及CMP特性研究。該系統(tǒng)擁有成本低,占地面積小。

規(guī)格:機(jī)頭,工作臺(tái):30- 200rpm,旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),機(jī)頭振蕩(±15mm)。尺寸:970W * 1010D * 1850H mm。壓板尺寸:Ф 406毫米(16英寸),陽(yáng)氧化鋁(可選:特氟龍涂層)。壓制方式:可變空氣壓力電子控制器。膜型:70~ 500g /cm2 (1psi ~ 7psi)適用于4",6"硅片。工藝:自動(dòng)順序,干/濕。

選項(xiàng)墊式調(diào)理方法:擺頭式或擺臂式雙頭系統(tǒng)、摩擦力和溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

應(yīng)用程序工件:6英寸晶圓片,MEMS結(jié)構(gòu),貼片CMP制程:Si CMP、氧化物CMP(BPSG、TEOS、SC)、金屬CMP(WCu)、STIPGI等。









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