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Optium ASL-200 高級(jí)研磨機(jī)

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研磨機(jī)晶圓研磨

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 實(shí)現(xiàn)對(duì)TFMH性能特性的控制

使用 Veeco 的 Optium® ASL 200™ 研磨系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)更高水平的控制和 TFMH 工藝產(chǎn)量。這種高精度硬盤頭研磨系統(tǒng)可大程度地控制關(guān)鍵薄膜尺寸,并且設(shè)計(jì)用于輕松集成到自動(dòng)化后端處理中。

增強(qiáng)了對(duì)傳感器高度和讀寫器偏移等功能的控制

提高 ELG(電動(dòng)研磨導(dǎo)軌)搭接和終搭接的垂直度和平整度

滿足 TMR 和 PMR 頭的下一代研磨要求

提供雙臂或四臂配置

TFMH工藝工具的全球?qū)д咴O(shè)計(jì)和制造

2. 實(shí)現(xiàn)對(duì)TFMH性能特性的控制

使用 Veeco 的 Optium® ASL 200™ 研磨系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)更高水平的控制和 TFMH 工藝產(chǎn)量。這種高精度硬盤頭研磨系統(tǒng)可大程度地控制關(guān)鍵薄膜尺寸,并且設(shè)計(jì)用于輕松集成到自動(dòng)化后端處理中。

增強(qiáng)了對(duì)傳感器高度和讀寫器偏移等功能的控制

提高 ELG(電動(dòng)研磨導(dǎo)軌)搭接和終搭接的垂直度和平整度

滿足 TMR 和 PMR 頭的下一代研磨要求

提供雙臂或四臂配置

TFMH工藝工具的全球?qū)д咴O(shè)計(jì)和制造

3. 實(shí)現(xiàn)對(duì)TFMH性能特性的控制

使用 Veeco 的 Optium® ASL 200™ 研磨系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)更高水平的控制和 TFMH 工藝產(chǎn)量。這種高精度硬盤頭研磨系統(tǒng)可大程度地控制關(guān)鍵薄膜尺寸,并且設(shè)計(jì)用于輕松集成到自動(dòng)化后端處理中。

增強(qiáng)了對(duì)傳感器高度和讀寫器偏移等功能的控制

提高 ELG(電動(dòng)研磨導(dǎo)軌)搭接和終搭接的垂直度和平整度

滿足 TMR 和 PMR 頭的下一代研磨要求

提供雙臂或四臂配置

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