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KaLine 8V 部件鍍膜設(shè)備

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

本裝置是在真空狀態(tài)中向產(chǎn)品外部涂層非導(dǎo)體的設(shè)備,在真空內(nèi)產(chǎn)品做自空傳,由能保持一定的膜厚度構(gòu)成的.


本設(shè)備采用真空技術(shù),用于在產(chǎn)品外部涂覆非導(dǎo)體材料。在真空環(huán)境下,產(chǎn)品會(huì)進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)動(dòng),使涂層能夠均勻覆蓋整個(gè)表面,形成一定厚度的保護(hù)膜。這種真空涂層技術(shù)可以確保涂層的致密性和附著力,從而為產(chǎn)品提供耐磨、絕緣、防腐等功能。

具體來說,該設(shè)備由真空室、高速旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和涂層噴淋系統(tǒng)等部件組成。產(chǎn)品放置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上,在真空抽氣后,平臺(tái)以高速旋轉(zhuǎn),同時(shí)對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行均勻的涂層噴灑。涂層材料在真空環(huán)境下能夠迅速附著并形成致密的膜層,厚度可以精確控制,以滿足不同產(chǎn)品的性能要求。這種真空涂層技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子、汽車、航空航天等領(lǐng)域,為產(chǎn)品提供保護(hù)性能。

與傳統(tǒng)的大氣壓涂裝相比,真空涂層技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢(shì)。首先,真空環(huán)境可以有效地排除空氣中的灰塵和雜質(zhì),確保涂層表面的潔凈度。其次,真空狀態(tài)下涂層材料的流動(dòng)性和浸潤(rùn)性大為提高,能夠更好地覆蓋產(chǎn)品表面的微小凹凸部位。此外,真空條件下涂層的固化速度更快,生產(chǎn)效率更高??傊?這種真空涂層技術(shù)為產(chǎn)品表面處理提供了一種高質(zhì)量、高效率的解決方案。

設(shè)備構(gòu)成Auto Inline 8 Chamber
到達(dá)真空3 x 10-6 Torr
排氣構(gòu)成D/P + Poly Cold + MBP + RP
產(chǎn)品回轉(zhuǎn)滾輪驅(qū)動(dòng)
Sputter TargetAL, SUS, Ni, Sn, Ti, Cr
Cycle Time1~3 min






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